Selective etching of spin-coated and thermally evaporated As30S45Se25 thin films
Článekpeer-reviewedpostprintdc.contributor.author | Pálka, Karel | cze |
dc.contributor.author | Šlang, Stanislav | cze |
dc.contributor.author | Bůžek, Jan | cze |
dc.contributor.author | Vlček, Miroslav | cze |
dc.date.accessioned | 2017-05-11T11:11:49Z | |
dc.date.available | 2017-05-11T11:11:49Z | |
dc.date.issued | 2016 | eng |
dc.description.abstract | Chalcogenide glasses are intensively studied materials due to their interesting optical properties such as high values of refractive index, wide transparency in IR, photosensitivity, etc.We report on the comparison of photo and thermo-induced changes in optical properties and chemical resistance of thermally evaporated and spincoated As30S45Se25 thin films. Significantly different trends of photo-induced changes in chemical resistance in both types of thin films such as negative etching of thermally evaporated thin films and positive etching of spin-coated thin films were observed. The structural changes responsible for the observed phenomena were investigated as well. | eng |
dc.description.abstract-translated | Chalkogenidová skla jsou intenzivně studované materiály díky jejich zajímavým optickým vlastnostem.V této práci se zabýváme studiem foto a termoindukovaných změn v optických vlastnostech a chemické odolnosti vakuově napařených a spin-coatingovaných tenkých vrstev složení As30S45Se25. Byly pozorovány výrazně odlišné trendy ve fotoindukovaných změnách optických parametrů a chemické odolnosti ve studovaných tenkých vrstvách (pozitivní leptání spin-coatingovaných tenkých vrstev a negativní leptání vakuově napařených). Taktéž byly studovány změny ve struktuře. | cze |
dc.format | p. 104-109 | eng |
dc.identifier.doi | 10.1016/j.jnoncrysol.2016.05.042 | eng |
dc.identifier.issn | 0022-3093 | eng |
dc.identifier.obd | 39877413 | eng |
dc.identifier.scopus | 2-s2.0-84973570972 | |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10195/67607 | |
dc.identifier.wos | 000381841200016 | eng |
dc.language.iso | eng | eng |
dc.peerreviewed | yes | eng |
dc.publicationstatus | postprint | eng |
dc.relation.ispartof | Journal of Non-Crystalline Solids, volume 447, issue: September 2016 | eng |
dc.rights | embargoed access | eng |
dc.subject | Chalcogenide glasses | eng |
dc.subject | Selective etching | eng |
dc.subject | Thin films | eng |
dc.subject | Chalkogenidová skla | cze |
dc.subject | selektivní leptání | cze |
dc.subject | tenké vrstvy | cze |
dc.title | Selective etching of spin-coated and thermally evaporated As30S45Se25 thin films | eng |
dc.title.alternative | Selektivní leptání tenkých vrstev složení As30S45Se25 připravených spin-coatingem a vakuovým napařováním | cze |
dc.type | article | eng |
Soubory
Původní svazek
1 - 1 z 1
- Název:
- Palka___Selective_etching_of_spin_coated_and_thermally_evaporated_As30S45Se25_thin_films.pdf
- Velikost:
- 2.17 MB
- Formát:
- Adobe Portable Document Format
- Popis: