Digitální knihovnaUPCE
 

Selective etching of spin-coated and thermally evaporated As30S45Se25 thin films

Článekpeer-reviewedpostprint
dc.contributor.authorPálka, Karelcze
dc.contributor.authorŠlang, Stanislavcze
dc.contributor.authorBůžek, Jancze
dc.contributor.authorVlček, Miroslavcze
dc.date.accessioned2017-05-11T11:11:49Z
dc.date.available2017-05-11T11:11:49Z
dc.date.issued2016eng
dc.description.abstractChalcogenide glasses are intensively studied materials due to their interesting optical properties such as high values of refractive index, wide transparency in IR, photosensitivity, etc.We report on the comparison of photo and thermo-induced changes in optical properties and chemical resistance of thermally evaporated and spincoated As30S45Se25 thin films. Significantly different trends of photo-induced changes in chemical resistance in both types of thin films such as negative etching of thermally evaporated thin films and positive etching of spin-coated thin films were observed. The structural changes responsible for the observed phenomena were investigated as well.eng
dc.description.abstract-translatedChalkogenidová skla jsou intenzivně studované materiály díky jejich zajímavým optickým vlastnostem.V této práci se zabýváme studiem foto a termoindukovaných změn v optických vlastnostech a chemické odolnosti vakuově napařených a spin-coatingovaných tenkých vrstev složení As30S45Se25. Byly pozorovány výrazně odlišné trendy ve fotoindukovaných změnách optických parametrů a chemické odolnosti ve studovaných tenkých vrstvách (pozitivní leptání spin-coatingovaných tenkých vrstev a negativní leptání vakuově napařených). Taktéž byly studovány změny ve struktuře.cze
dc.formatp. 104-109eng
dc.identifier.doi10.1016/j.jnoncrysol.2016.05.042eng
dc.identifier.issn0022-3093eng
dc.identifier.obd39877413eng
dc.identifier.scopus2-s2.0-84973570972
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10195/67607
dc.identifier.wos000381841200016eng
dc.language.isoengeng
dc.peerreviewedyeseng
dc.publicationstatuspostprinteng
dc.relation.ispartofJournal of Non-Crystalline Solids, volume 447, issue: September 2016eng
dc.rightsembargoed accesseng
dc.subjectChalcogenide glasseseng
dc.subjectSelective etchingeng
dc.subjectThin filmseng
dc.subjectChalkogenidová sklacze
dc.subjectselektivní leptánícze
dc.subjecttenké vrstvycze
dc.titleSelective etching of spin-coated and thermally evaporated As30S45Se25 thin filmseng
dc.title.alternativeSelektivní leptání tenkých vrstev složení As30S45Se25 připravených spin-coatingem a vakuovým napařovánímcze
dc.typearticleeng

Soubory

Původní svazek

Nyní se zobrazuje 1 - 1 z 1
Náhled
Název:
Palka___Selective_etching_of_spin_coated_and_thermally_evaporated_As30S45Se25_thin_films.pdf
Velikost:
2.17 MB
Formát:
Adobe Portable Document Format
Popis: