Selective etching of spin-coated and thermally evaporated As30S45Se25 thin films
ČlánekOtevřený přístuppeer-reviewedpostprintDatum publikování
2016
Autoři
Pálka, Karel
Šlang, Stanislav
Bůžek, Jan
Vlček, Miroslav
Vedoucí práce
Oponent
Název časopisu
Název svazku
Vydavatel
Abstrakt
Chalcogenide glasses are intensively studied materials due to their interesting optical properties such as high values of refractive index, wide transparency in IR, photosensitivity, etc.We report on the comparison of photo and thermo-induced changes in optical properties and chemical resistance of thermally evaporated and spincoated As30S45Se25 thin films. Significantly different trends of photo-induced changes in chemical resistance in both types of thin films such as negative etching of thermally evaporated thin films and positive etching of spin-coated thin films were observed. The structural changes responsible for the observed phenomena were investigated as well.
Rozsah stran
p. 104-109
ISSN
0022-3093
Trvalý odkaz na tento záznam
Projekt
Zdrojový dokument
Journal of Non-Crystalline Solids, volume 447, issue: September 2016
Vydavatelská verze
Přístup k e-verzi
embargoed access
Název akce
ISBN
Studijní obor
Studijní program
Signatura tištěné verze
Umístění tištěné verze
Přístup k tištěné verzi
Klíčová slova
Chalcogenide glasses, Selective etching, Thin films, Chalkogenidová skla, selektivní leptání, tenké vrstvy