Abstract:
Tato bakalářská práce se zabývá přípravou chalkogenidových tenkých vrstev systému As-S a následným studiem jejich selektivního leptání v různých leptacích lázních. Vakuovým napařováním byly připraveny tenké vrstvy o složení As40S60, As35S65 a As30S70. Byl studován vliv expozice a temperace na rychlost rozpuštění těchto vrstev v aminových bázích a vliv koncentrace a složení leptací lázně na selektivitu leptání.
