Selektivní leptání As-S vrstev

Show simple item record

dc.contributor.advisor Vlček, Miroslav
dc.contributor.author Kubját, Richard
dc.date.accessioned 2016-09-02T04:25:08Z
dc.date.available 2016-09-02T04:25:08Z
dc.date.issued 2016
dc.date.submitted 2016-07-11
dc.identifier Univerzitní knihovna (studovna) cze
dc.identifier.uri http://hdl.handle.net/10195/65610
dc.description.abstract Tato bakalářská práce se zabývá přípravou chalkogenidových tenkých vrstev systému As-S a následným studiem jejich selektivního leptání v různých leptacích lázních. Vakuovým napařováním byly připraveny tenké vrstvy o složení As40S60, As35S65 a As30S70. Byl studován vliv expozice a temperace na rychlost rozpuštění těchto vrstev v aminových bázích a vliv koncentrace a složení leptací lázně na selektivitu leptání. cze
dc.format 46 s. cze
dc.language.iso cze
dc.publisher Univerzita Pardubice cze
dc.rights Práce není přístupná
dc.subject chalkogenidová skla cze
dc.subject systém As-S cze
dc.subject tenké vrstvy cze
dc.subject selektivní leptání cze
dc.subject chalcogenide glasses eng
dc.subject system As-S eng
dc.subject thin films eng
dc.subject selective wet-etching eng
dc.title Selektivní leptání As-S vrstev cze
dc.title.alternative Selective etching of As-S thin films eng
dc.type bakalářská práce cze
dc.date.accepted 2016-08-22
dc.description.abstract-translated This Bachelor´s paper deals with preparation of chalcogenide thin films of system As-S and with study of their selective wet-etching in different etching baths. Thin films of As40S60, As35S65 and As30S70 compositions were prepared by vacuum deposition method. Influence of exposure and/or annealing on their dissolution rate in amine bases as well as influence of composition and concentration of amine solutions were studied. eng
dc.description.department Fakulta chemicko-technologická cze
dc.thesis.degree-discipline Chemie a technická chemie cze
dc.thesis.degree-name Bc.
dc.thesis.degree-grantor Univerzita Pardubice. Fakulta chemicko-technologická cze
dc.identifier.signature D35564 cze
dc.thesis.degree-program Chemie a technická chemie cze
dc.identifier.stag 27094
dc.description.grade Dokončená práce s úspěšnou obhajobou cze


This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record

Search DSpace


Advanced Search

Browse

My Account