Digitální knihovnaUPCE
 

Sub-micrometer soft lithography of a bulk chalcogenide glass

Článekpeer-reviewedpostprint
Náhled

Datum publikování

2013

Vedoucí práce

Oponent

Název časopisu

Název svazku

Vydavatel

Optical Society of America

Abstrakt

We demonstrate, for the first time, time-and cost-effective replication of sub-micrometer features from a soft PDMS mold onto a bulk chalcogenide glass over a large surface area. A periodic array of submicrometer lines (diffraction grating) with period 625 nm, amplitude 45 nm and surface roughness 3 nm was imprinted onto the surface of the chalcogenide AsSe2 bulk glass at temperature 225 degrees C, i.e. 5 degrees C below the softening point of the glass. Sub-micrometer soft lithography into chalcogenide bulk glasses shows good reliability, reproducibility and promise for feasible fabrication of various dispersive optical elements, antireflection surfaces, 2D photonic structures and nano-structured surfaces for enhanced photonic properties and chemical sensing. (C) 2013 Optical Society of America

Rozsah stran

p. 9584-9591

ISSN

1094-4087

Trvalý odkaz na tento záznam

Projekt

EE2.3.20.0254/Výzkumný tým pro pokročilé nekrystalické materiály (ReAdMat)

Zdrojový dokument

Optics Express, volume 21, issue: 8

Vydavatelská verze

Přístup k e-verzi

Pouze v rámci univerzity

Název akce

ISBN

Studijní obor

Studijní program

Signatura tištěné verze

Umístění tištěné verze

Přístup k tištěné verzi

Klíčová slova

nanoimprint lithography, imprint lithography, wave-guides, fibers, nanostructures, fabrication, micro, nanoimprint litografie, příprava optických prvků

Endorsement

Review

item.page.supplemented

item.page.referenced