Strukturování tenkých vrstev chalkogenidových skel systému As-S pomocí litografických procesů
Bakalářská práceDatum publikování
2016
Autoři
Vedoucí práce
Oponent
Název časopisu
Název svazku
Vydavatel
Univerzita Pardubice
Abstrakt
Tato bakalářská práce se zabývá studiem fyzikálně - chemických vlastností a možností strukturování povrchu tenkých vrstev chalkogenidového skla o složení As35S65 . Studovány byly optické vlastnosti, chemická odolnost, struktura tenkých vrstev a jejich termo- a fotoindukované změny. Ke studiu strukturování povrchu bylo použito optické a elektronové litografie.
Rozsah stran
34 s.
ISSN
Trvalý odkaz na tento záznam
Projekt
Zdrojový dokument
Vydavatelská verze
Přístup k e-verzi
Práce není přístupná
Název akce
ISBN
Studijní obor
Chemie a technická chemie
Studijní program
Chemie a technická chemie
Signatura tištěné verze
D35566
Umístění tištěné verze
Univerzitní knihovna (studovna)
Přístup k tištěné verzi
Klíčová slova
chalkogenidová skla, tenké vrstvy, optická litografie, elektronová litografie, chalcogenide glasses, thin films, optical lithography, electron beam lithography