Strukturování tenkých vrstev chalkogenidových skel systému As-S pomocí litografických procesů
Bakalářská práceOmezený přístupdc.contributor.advisor | Pálka, Karel | |
dc.contributor.author | Jančálek, Jiří | |
dc.date.accepted | 2016-08-22 | |
dc.date.accessioned | 2016-09-02T04:25:09Z | |
dc.date.available | 2016-09-02T04:25:09Z | |
dc.date.issued | 2016 | |
dc.date.submitted | 2016-07-11 | |
dc.description.abstract | Tato bakalářská práce se zabývá studiem fyzikálně - chemických vlastností a možností strukturování povrchu tenkých vrstev chalkogenidového skla o složení As35S65 . Studovány byly optické vlastnosti, chemická odolnost, struktura tenkých vrstev a jejich termo- a fotoindukované změny. Ke studiu strukturování povrchu bylo použito optické a elektronové litografie. | cze |
dc.description.abstract-translated | This bachelor thesis deals with a study of physical and chemical properties and structuring possibilities of As35S65 thin chalcogenide films. Optical properties, chemical resistance, structure as well as their thermo- and photoinduced changes had been studied. Photolithography and electron beam lithography were used for study of structuring possibilities. | eng |
dc.description.department | Fakulta chemicko-technologická | cze |
dc.description.grade | Dokončená práce s úspěšnou obhajobou | cze |
dc.format | 34 s. | cze |
dc.identifier | Univerzitní knihovna (studovna) | cze |
dc.identifier.signature | D35566 | cze |
dc.identifier.stag | 30635 | |
dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10195/65612 | |
dc.language.iso | cze | |
dc.publisher | Univerzita Pardubice | cze |
dc.rights | Práce není přístupná | |
dc.subject | chalkogenidová skla | cze |
dc.subject | tenké vrstvy | cze |
dc.subject | optická litografie | cze |
dc.subject | elektronová litografie | cze |
dc.subject | chalcogenide glasses | eng |
dc.subject | thin films | eng |
dc.subject | optical lithography | eng |
dc.subject | electron beam lithography | eng |
dc.thesis.degree-discipline | Chemie a technická chemie | cze |
dc.thesis.degree-grantor | Univerzita Pardubice. Fakulta chemicko-technologická | cze |
dc.thesis.degree-name | Bc. | |
dc.thesis.degree-program | Chemie a technická chemie | cze |
dc.title | Strukturování tenkých vrstev chalkogenidových skel systému As-S pomocí litografických procesů | cze |
dc.title.alternative | Structuring of As-S chalcogenide glass thin films by lithography techniques | eng |
dc.type | bakalářská práce | cze |
Soubory
Původní svazek
1 - 2 z 2
Náhled není k dispozici
- Název:
- JancalekJ_StrukturovaniTenkych_KP_2016.pdf
- Velikost:
- 740.73 KB
- Formát:
- Adobe Portable Document Format
- Popis:
- Plný text práce
- Název:
- Posudek vedouciho.pdf
- Velikost:
- 756.91 KB
- Formát:
- Adobe Portable Document Format
- Popis:
- Posudek vedoucího práce