Digitální knihovnaUPCE
 

Strukturování tenkých vrstev chalkogenidových skel systému As-S pomocí litografických procesů

Bakalářská práceOmezený přístup
dc.contributor.advisorPálka, Karel
dc.contributor.authorJančálek, Jiří
dc.date.accepted2016-08-22
dc.date.accessioned2016-09-02T04:25:09Z
dc.date.available2016-09-02T04:25:09Z
dc.date.issued2016
dc.date.submitted2016-07-11
dc.description.abstractTato bakalářská práce se zabývá studiem fyzikálně - chemických vlastností a možností strukturování povrchu tenkých vrstev chalkogenidového skla o složení As35S65 . Studovány byly optické vlastnosti, chemická odolnost, struktura tenkých vrstev a jejich termo- a fotoindukované změny. Ke studiu strukturování povrchu bylo použito optické a elektronové litografie.cze
dc.description.abstract-translatedThis bachelor thesis deals with a study of physical and chemical properties and structuring possibilities of As35S65 thin chalcogenide films. Optical properties, chemical resistance, structure as well as their thermo- and photoinduced changes had been studied. Photolithography and electron beam lithography were used for study of structuring possibilities.eng
dc.description.departmentFakulta chemicko-technologickácze
dc.description.gradeDokončená práce s úspěšnou obhajoboucze
dc.format34 s.cze
dc.identifierUniverzitní knihovna (studovna)cze
dc.identifier.signatureD35566cze
dc.identifier.stag30635
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/10195/65612
dc.language.isocze
dc.publisherUniverzita Pardubicecze
dc.rightsPráce není přístupná
dc.subjectchalkogenidová sklacze
dc.subjecttenké vrstvycze
dc.subjectoptická litografiecze
dc.subjectelektronová litografiecze
dc.subjectchalcogenide glasseseng
dc.subjectthin filmseng
dc.subjectoptical lithographyeng
dc.subjectelectron beam lithographyeng
dc.thesis.degree-disciplineChemie a technická chemiecze
dc.thesis.degree-grantorUniverzita Pardubice. Fakulta chemicko-technologickácze
dc.thesis.degree-nameBc.
dc.thesis.degree-programChemie a technická chemiecze
dc.titleStrukturování tenkých vrstev chalkogenidových skel systému As-S pomocí litografických procesůcze
dc.title.alternativeStructuring of As-S chalcogenide glass thin films by lithography techniqueseng
dc.typebakalářská prácecze

Soubory

Původní svazek

Nyní se zobrazuje 1 - 2 z 2
Náhled není k dispozici
Název:
JancalekJ_StrukturovaniTenkych_KP_2016.pdf
Velikost:
740.73 KB
Formát:
Adobe Portable Document Format
Popis:
Plný text práce
Náhled
Název:
Posudek vedouciho.pdf
Velikost:
756.91 KB
Formát:
Adobe Portable Document Format
Popis:
Posudek vedoucího práce