Sub-micrometer soft lithography of a bulk chalcogenide glass
ČlánekOtevřený přístuppeer-reviewedpostprintDatum publikování
2013
Vedoucí práce
Oponent
Název časopisu
Název svazku
Vydavatel
Optical Society of America
Abstrakt
We demonstrate, for the first time, time-and cost-effective replication of sub-micrometer features from a soft PDMS mold onto a bulk chalcogenide glass over a large surface area. A periodic array of submicrometer lines (diffraction grating) with period 625 nm, amplitude 45 nm and surface roughness 3 nm was imprinted onto the surface of the chalcogenide AsSe2 bulk glass at temperature 225 degrees C, i.e. 5 degrees C below the softening point of the glass. Sub-micrometer soft lithography into chalcogenide bulk glasses shows good reliability, reproducibility and promise for feasible fabrication of various dispersive optical elements, antireflection surfaces, 2D photonic structures and nano-structured surfaces for enhanced photonic properties and chemical sensing.
Rozsah stran
p. 9584-9591
ISSN
1094-4087
Trvalý odkaz na tento záznam
Projekt
Zdrojový dokument
Optics Express. 2013, vol. 21, issue 8
Vydavatelská verze
http://www.opticsinfobase.org/oe/abstract.cfm?uri=oe-21-8-9584
Přístup k e-verzi
open access
Název akce
ISBN
Studijní obor
Studijní program
Signatura tištěné verze
Umístění tištěné verze
Přístup k tištěné verzi
Klíčová slova
nanoimprint lithography, imprint lithography, wave-guides, fibers, nanostructures, fabrication, micro, nanoimprint litografie, příprava optických prvků