Práce se zabývá studiem topologie reliéfních difrakčních mřížek a jejich difrakcí. Jsou kvalitativně porovnávány mřížky zhotovené metodami jako je scatterometrie, optická mikroskopie, elektronová mikroskopie, mikroskopie atomárních sil. Dále je posouzena vhodnost jednotlivých metod k určení základních parametrů difrakčních mřížek.
