Charakterizace reliéfních difrakčních struktur optickými a skenovacími metodami
Diplomová práceDatum publikování
2013
Autoři
Vedoucí práce
Oponent
Název časopisu
Název svazku
Vydavatel
Univerzita Pardubice
Abstrakt
Práce se zabývá studiem topologie reliéfních difrakčních mřížek a jejich difrakcí. Jsou kvalitativně porovnávány mřížky zhotovené metodami jako je scatterometrie, optická mikroskopie, elektronová mikroskopie, mikroskopie atomárních sil. Dále je posouzena vhodnost jednotlivých metod k určení základních parametrů difrakčních mřížek.
Rozsah stran
75 s.
ISSN
Trvalý odkaz na tento záznam
Projekt
Zdrojový dokument
Vydavatelská verze
Přístup k e-verzi
Práce není přístupná
Název akce
ISBN
Studijní obor
Polygrafie
Studijní program
Polygrafie
Signatura tištěné verze
D30266
Umístění tištěné verze
Univerzitní knihovna (archiv)
Přístup k tištěné verzi
Klíčová slova
difrakční mřížky, hologramy, scatterometrie, optická mikroskopie, elektronová mikroskopie, mikroskopie atomárních sil, diffraction gratings, holograms, scatterometrie, optical microscopy, electron microscopy, atomic force microscopy