Digitální knihovna UPCE přechází na novou verzi. Omluvte prosím případné komplikace. / The UPCE Digital Library is migrating to a new version. We apologize for any inconvenience.

Publikace:
Analysis of pulsed laser deposited amorphous chalcogenide film thickness distribution: Plume deflection angle dependence

Článekopen accesspeer-reviewedpostprint
Zobrazit minimální záznam
dc.contributor.authorPavlišta, Martincze
dc.contributor.authorZajac, Vítcze
dc.contributor.authorNazabal, Virginiecze
dc.contributor.authorGutwirth, Jancze
dc.contributor.authorGouttefangeas, Franciscze
dc.contributor.authorNěmec, Petrcze
dc.date.accessioned2019-05-22T08:13:56Z
dc.date.available2019-05-22T08:13:56Z
dc.date.issued2018eng
dc.description.abstractPulsed laser deposition exploiting a KrF excimer laser was used to fabricate amorphous As-S thin films from bulk As2S3 glass target. Thickness profile of the film was extracted from variable angle spectroscopic ellipsometry data. The dependence of thickness distribution of prepared thin layer on laser beam plume deflection angle was evaluated and corresponding equations were suggested.eng
dc.description.abstract-translatedPulsní laserová depozice s KrF excimerovým laserem byla použita k přípravě amorfních tenkých vrstev As-S z objemového skla As2S3. Tloušťkový profil filmu byl určen pomocí VASE. Závislost tloušťkové distribuce připravené tenké vrstvy na úhlu sklonu plazmového oblaku byla vyhodnocena s využitím navržených rovnic.cze
dc.formatp. 409-411eng
dc.identifier.doi10.1016/j.jnoncrysol.2017.11.022eng
dc.identifier.issn0022-3093eng
dc.identifier.obd39880970eng
dc.identifier.scopus2-s2.0-85034077639
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/10195/72583
dc.identifier.wos000423646200057eng
dc.language.isoengeng
dc.peerreviewedyeseng
dc.project.IDGA16-17921S/Heterostruktury založené na chalkogenidech pro nelineární optiku a optické senzoryeng
dc.publicationstatuspostprinteng
dc.relation.ispartofJournal of Non-Crystalline Solids, volume 481, issue: Februaryeng
dc.relation.publisherversionhttps://doi.org/10.1016/j.jnoncrysol.2017.11.022eng
dc.rightsembargoed accesseng
dc.subjectPlume deflectioneng
dc.subjectThickness distributioneng
dc.subjectPLDeng
dc.subjectChalcogenideeng
dc.subjectThin filmeng
dc.subjectsklon plazmového oblakucze
dc.subjecttloušťková distribucecze
dc.subjectPLDcze
dc.subjectchalkogenidcze
dc.subjecttenká vrstvacze
dc.titleAnalysis of pulsed laser deposited amorphous chalcogenide film thickness distribution: Plume deflection angle dependenceeng
dc.title.alternativeAnalýza tloušťkové distribuce amorfního chalkogenidového filmu připraveného pulzní laserovou depozicí: závislost na úhlu sklonu plazmového oblakucze
dc.typeArticleeng
dspace.entity.typePublication

Soubory

Původní svazek

Nyní se zobrazuje 1 - 1 z 1
Náhled
Název:
NOC_18602_edit_report.pdf
Velikost:
451.51 KB
Formát:
Adobe Portable Document Format
Popis:
NOC_18602_edit_report.pdf (451.51 KB)

Kolekce

Publikační činnost akademických pracovníků UPCE / UPCE Research Outputs
Publikační činnost akademických pracovníků FChT / FChT Research Outputs