Studium procesu plazmochemické depozice vrstev SiO2 na křemíkových deskách

Abstract

Práce se zabývá studiem procesu plazmochemické depozice vrstev SiO2 na křemíkových deskách. Byly prozkoumány závislosti indexu lomu, rychlosti a rovnoměrnosti depozice vrstvy SiO2 na teplotě, tlaku, příkonu, průtoku O2 a průtoku He do TEOS při depozici. Dále byly prozkoumány závislosti velikosti a znaménka pnutí, účinnosti krytí schodků v tenkovrstvových AlCuSi vodičích 1. úrovně metalizace vrstvou SiO2 a rychlost rozpouštění vrstvy SiO2 v pufrované HF na teplotě a tlaku při depozici.