Digitální knihovna UPCE přechází na novou verzi. Omluvte prosím případné komplikace. / The UPCE Digital Library is migrating to a new version. We apologize for any inconvenience.

Publikace:
Optimalizace difrakčních mřížek a měření jejich difrakční účinnosti

Diplomová práceopen access
Načítá se...
Náhled

Datum

Autoři

Gorylová, Magdaléna

Název časopisu

ISSN časopisu

Název svazku

Nakladatel

Univerzita Pardubice

Výzkumné projekty

Organizační jednotky

Číslo časopisu

Abstrakt

Předložená práce je rozdělená na teoretickou a experimentální část. Teoretická část se zabývá difrakčními mřížkami. Nejprve popisuje typy, se kterými se v literatuře lze setkat, dále se zaměřuje na tenkou binární difrakční mřížku a fyzikální děje s ní spojené, zejména tedy difrakční účinnost, která je hlavním tématem práce. Teoretická část je pak uzavřená stručným přehledem vybraných technologií zápisu difrakčních mřížek a metodami sloužícími k popisu jejich struktury a vyhodnocení. Cílem experimentální části je vyhodnocení naměřených profilů vzorků difrakčních mřížek, softwarový výpočet difrakční účinnosti na základě teorie o tenké difrakční mřížce řešené pomocí transmitanční funkce a porovnání s experimentálním měřením na zařízení pro měření difrakční účinnosti mřížek. Závěrem jsou vyhodnoceny vzorky s nejlepší difrakční účinnosti a experiment je okomentován jako celek.

Popis

Klíčová slova

difrakční účinnost, tenká difrakční mřížka, binární profil, optická litografie, diffraction efficiency, thin diffraction grating, binary profile, optical lithography

Citace

Permanentní identifikátor

Endorsement

Review

Supplemented By

Referenced By