Publikace: Optimalizace difrakčních mřížek a měření jejich difrakční účinnosti
Diplomová práceopen accessNačítá se...
Datum
Autoři
Gorylová, Magdaléna
Název časopisu
ISSN časopisu
Název svazku
Nakladatel
Univerzita Pardubice
Abstrakt
Předložená práce je rozdělená na teoretickou a experimentální část. Teoretická část se zabývá difrakčními mřížkami. Nejprve popisuje typy, se kterými se v literatuře lze setkat, dále se zaměřuje na tenkou binární difrakční mřížku a fyzikální děje s ní spojené, zejména tedy difrakční účinnost, která je hlavním tématem práce. Teoretická část je pak uzavřená stručným přehledem vybraných technologií zápisu difrakčních mřížek a metodami sloužícími k popisu jejich struktury a vyhodnocení.
Cílem experimentální části je vyhodnocení naměřených profilů vzorků difrakčních mřížek, softwarový výpočet difrakční účinnosti na základě teorie o tenké difrakční mřížce řešené pomocí transmitanční funkce a porovnání s experimentálním měřením na zařízení pro měření difrakční účinnosti mřížek. Závěrem jsou vyhodnoceny vzorky s nejlepší difrakční účinnosti a experiment je okomentován jako celek.
Popis
Klíčová slova
difrakční účinnost, tenká difrakční mřížka, binární profil, optická litografie, diffraction efficiency, thin diffraction grating, binary profile, optical lithography