Optimalizace difrakčních mřížek a měření jejich difrakční účinnosti

Gorylová, Magdaléna

Publikace:
Optimalizace difrakčních mřížek a měření jejich difrakční účinnosti

Diplomová práceopen access

dc.contributor.advisor	Janíček, Petr
dc.contributor.author	Gorylová, Magdaléna
dc.date.accepted	2019-06-05
dc.date.accessioned	2019-06-18T07:10:43Z
dc.date.available	2019-06-18T07:10:43Z
dc.date.issued	2019
dc.date.submitted	2019-05-10
dc.description.abstract	Předložená práce je rozdělená na teoretickou a experimentální část. Teoretická část se zabývá difrakčními mřížkami. Nejprve popisuje typy, se kterými se v literatuře lze setkat, dále se zaměřuje na tenkou binární difrakční mřížku a fyzikální děje s ní spojené, zejména tedy difrakční účinnost, která je hlavním tématem práce. Teoretická část je pak uzavřená stručným přehledem vybraných technologií zápisu difrakčních mřížek a metodami sloužícími k popisu jejich struktury a vyhodnocení. Cílem experimentální části je vyhodnocení naměřených profilů vzorků difrakčních mřížek, softwarový výpočet difrakční účinnosti na základě teorie o tenké difrakční mřížce řešené pomocí transmitanční funkce a porovnání s experimentálním měřením na zařízení pro měření difrakční účinnosti mřížek. Závěrem jsou vyhodnoceny vzorky s nejlepší difrakční účinnosti a experiment je okomentován jako celek.	cze
dc.description.abstract-translated	This thesis is divided into a theoretical and an experimental part. The theoretical part deals with diffraction gratings and describes the types which can be found in literature. Further it focuses on thin and binary diffraction gratings and its physical phenomena. The main topic of this thesis then becomes diffraction efficiency. Finally, the theoretical part mentions some picked diffraction grating writing technologies and methods for further analysis of the prepared structure and its evaluation. The aim of experimental part is an evaluation of measured sample profiles of diffraction gratings, comparison between software diffraction efficiency computation based on theory solved by transmittance function on thin grating with experimental diffraction efficiency data measured on custom made equipment. Selected samples with the best diffraction efficiency and the whole experiment is summarized and commented in the conclusion of this thesis.	eng
dc.description.defence	prof. Ing. Petr Němec, Ph.D. - Zodpovězte otázky oponenta. Co vás vedlo k použití skriptu, který jste použila? Jakou část experimentální práce jste dělala sama? Optickou litografii jste dělala kde? prof.Ing. Čeppan, CSc. - Jak probíhala optická litografie? Co to byl fotorezist? Co je to pozitivní a nagativní fotorezist? prof.Ing. Michal Veselý, CSc. - Celý experiment jste si naplánovala sama? Proč jste měnila více proměnných nejednou? doc. Ing. Tomáš Syrový, Ph.D. - Šlo by nějakýcm způsobem dosáhnout obdélníkového profilu?	cze
dc.description.department	Fakulta chemicko-technologická	cze
dc.description.grade	Dokončená práce s úspěšnou obhajobou	cze
dc.format	71 s.
dc.identifier	Univerzitní knihovna (studovna)
dc.identifier.signature	D40217
dc.identifier.stag	35741
dc.identifier.uri	https://hdl.handle.net/10195/73186
dc.language.iso	cze
dc.publisher	Univerzita Pardubice	cze
dc.rights	Bez omezení
dc.subject	difrakční účinnost	cze
dc.subject	tenká difrakční mřížka	cze
dc.subject	binární profil	cze
dc.subject	optická litografie	cze
dc.subject	diffraction efficiency	eng
dc.subject	thin diffraction grating	eng
dc.subject	binary profile	eng
dc.subject	optical lithography	eng
dc.thesis.degree-discipline	Polygrafie	cze
dc.thesis.degree-grantor	Univerzita Pardubice. Fakulta chemicko-technologická	cze
dc.thesis.degree-name	Ing.
dc.thesis.degree-program	Polygrafie	cze
dc.title	Optimalizace difrakčních mřížek a měření jejich difrakční účinnosti	cze
dc.title.alternative	Optimization of diffraction gratings and diffraction efficiency measurements.	eng
dc.type	diplomová práce	cze
dspace.entity.type	Publication