Publikace: Selektivní leptání As-S vrstev
Bakalářská práceOmezený přístup| dc.contributor.advisor | Vlček, Miroslav | |
| dc.contributor.author | Kubját, Richard | |
| dc.date.accepted | 2016-08-22 | |
| dc.date.accessioned | 2016-09-02T04:25:08Z | |
| dc.date.available | 2016-09-02T04:25:08Z | |
| dc.date.issued | 2016 | |
| dc.date.submitted | 2016-07-11 | |
| dc.description.abstract | Tato bakalářská práce se zabývá přípravou chalkogenidových tenkých vrstev systému As-S a následným studiem jejich selektivního leptání v různých leptacích lázních. Vakuovým napařováním byly připraveny tenké vrstvy o složení As40S60, As35S65 a As30S70. Byl studován vliv expozice a temperace na rychlost rozpuštění těchto vrstev v aminových bázích a vliv koncentrace a složení leptací lázně na selektivitu leptání. | cze |
| dc.description.abstract-translated | This Bachelor´s paper deals with preparation of chalcogenide thin films of system As-S and with study of their selective wet-etching in different etching baths. Thin films of As40S60, As35S65 and As30S70 compositions were prepared by vacuum deposition method. Influence of exposure and/or annealing on their dissolution rate in amine bases as well as influence of composition and concentration of amine solutions were studied. | eng |
| dc.description.department | Fakulta chemicko-technologická | cze |
| dc.description.grade | Dokončená práce s úspěšnou obhajobou | cze |
| dc.format | 46 s. | cze |
| dc.identifier | Univerzitní knihovna (studovna) | cze |
| dc.identifier.signature | D35564 | cze |
| dc.identifier.stag | 27094 | |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10195/65610 | |
| dc.language.iso | cze | |
| dc.publisher | Univerzita Pardubice | cze |
| dc.rights | Práce není přístupná | |
| dc.subject | chalkogenidová skla | cze |
| dc.subject | systém As-S | cze |
| dc.subject | tenké vrstvy | cze |
| dc.subject | selektivní leptání | cze |
| dc.subject | chalcogenide glasses | eng |
| dc.subject | system As-S | eng |
| dc.subject | thin films | eng |
| dc.subject | selective wet-etching | eng |
| dc.thesis.degree-discipline | Chemie a technická chemie | cze |
| dc.thesis.degree-grantor | Univerzita Pardubice. Fakulta chemicko-technologická | cze |
| dc.thesis.degree-name | Bc. | |
| dc.thesis.degree-program | Chemie a technická chemie | cze |
| dc.title | Selektivní leptání As-S vrstev | cze |
| dc.title.alternative | Selective etching of As-S thin films | eng |
| dc.type | bakalářská práce | cze |
| dspace.entity.type | Publication |
Soubory
Původní svazek
1 - 2 z 2
Načítá se...
- Název:
- Posudek vedouciho.pdf
- Velikost:
- 492.35 KB
- Formát:
- Adobe Portable Document Format
- Popis:
- Posudek vedoucího práce
Načítá se...
- Název:
- KubjatR_SelektivniLeptani_MV_2016.pdf
- Velikost:
- 837.42 KB
- Formát:
- Adobe Portable Document Format
- Popis:
- Plný text práce