Digitální knihovna UPCE přechází na novou verzi. Omluvte prosím případné komplikace. / The UPCE Digital Library is migrating to a new version. We apologize for any inconvenience.

Publikace:
Selektivní leptání As-S vrstev

Bakalářská práceOmezený přístup
Náhled

Soubory

Posudek vedoucího práce (492.35 KB)
Plný text práce (837.42 KB)

Datum

2016

Autoři

Kubját, Richard

Název časopisu

ISSN časopisu

Název svazku

Nakladatel

Univerzita Pardubice

Výzkumné projekty

Organizační jednotky

Číslo časopisu

Abstrakt

Tato bakalářská práce se zabývá přípravou chalkogenidových tenkých vrstev systému As-S a následným studiem jejich selektivního leptání v různých leptacích lázních. Vakuovým napařováním byly připraveny tenké vrstvy o složení As40S60, As35S65 a As30S70. Byl studován vliv expozice a temperace na rychlost rozpuštění těchto vrstev v aminových bázích a vliv koncentrace a složení leptací lázně na selektivitu leptání.

Popis

Klíčová slova

chalkogenidová skla, systém As-S, tenké vrstvy, selektivní leptání, chalcogenide glasses, system As-S, thin films, selective wet-etching

Citace

Permanentní identifikátor

https://hdl.handle.net/10195/65610

Kolekce

Bakalářské práce / Bachelor's works KOANCH FCHT (Bc.)
Vysokoškolské kvalifikační práce / Theses, dissertations, etc.

Endorsement

Review

Supplemented By

Referenced By