Publikace: Strukturování vakuově napařených amorfních tenkých vrstev systému Ge-Sb-S-Se
Diplomová práceopen accessNačítá se...
Datum
Autoři
Název časopisu
ISSN časopisu
Název svazku
Nakladatel
Univerzita Pardubice
Abstrakt
Tato diplomová práce se zabývá studiem optických, strukturních a fyzikálně-chemických vlastností, vakuově napařených tenkých vrstev chalkogenidových skel, systému Ge20Sb10SxSe70-x, kde x = 0; 10; 20; 30; 40; 50; 60 a 70. Byly studovány vlivy temperace a expozice polychromatickým zářením na jejich vlastnosti. Dále byly zkoumány možnosti strukturování těchto tenkých vrstev, s využitím metody vtlačování za horka, litografie elektronovým svazkem, litografie fokusovaným iontovým svazkem, přímým laserovým zápisem a laserovým holografickým zápisem.
Popis
Klíčová slova
Ge20Sb10SxSe70-x, Ge-Sb-S-Se, vakuově napařené tenké vrstvy skla, optické vlastnosti, strukturování, metoda vtlačování za horka, litografie elektronovým svazkem (EBL), litografie fokusovaným iontovým svazkem (FIB), přímý laserový zápis (DLW), laserová holografie, Ge20Sb10SxSe70-x, Ge-Sb-S-Se, thermally evaporated thin glass films, optical properties, structuring, hot embossing, electron beam lithography (EBL), focused ion beam lithography (FIB), direct laser writing (DLW), laser holography