Strukturování vakuově napařených amorfních tenkých vrstev systému Ge-Sb-S-Se

Damek, Lukáš

Publikace:
Strukturování vakuově napařených amorfních tenkých vrstev systému Ge-Sb-S-Se

Diplomová práceopen access

dc.contributor.advisor	Pálka, Karel
dc.contributor.author	Damek, Lukáš
dc.contributor.referee	Janíček, Petr
dc.date.accepted	2025-06-03
dc.date.accessioned	2025-07-07T07:41:28Z
dc.date.issued	2025
dc.date.submitted	2025-05-05
dc.description.abstract	Tato diplomová práce se zabývá studiem optických, strukturních a fyzikálně-chemických vlastností, vakuově napařených tenkých vrstev chalkogenidových skel, systému Ge20Sb10SxSe70-x, kde x = 0; 10; 20; 30; 40; 50; 60 a 70. Byly studovány vlivy temperace a expozice polychromatickým zářením na jejich vlastnosti. Dále byly zkoumány možnosti strukturování těchto tenkých vrstev, s využitím metody vtlačování za horka, litografie elektronovým svazkem, litografie fokusovaným iontovým svazkem, přímým laserovým zápisem a laserovým holografickým zápisem.	cze
dc.description.abstract-translated	This Master's thesis focuses on the study of the optical, structural, and physicochemical properties of thermally evaporated thin films of chalcogenide glasses of the Ge20Sb10SxSe70-x system, where x = 0; 10; 20; 30; 40; 50; 60 and 70. The effects of annealing and exposure to polychromatic radiation on their properties were also investigated. Furthermore, the possibilities of structuring these thin films were explored using the methods of hot embossing, electron beam lithography, focused ion beam lithography, direct laser writing, and laser holographic writing.	eng
dc.description.defence	Diplomant seznámil komisi se svojí diplomovou prací. Dále reagoval na připomínky oponenta. Zodpověděl otázky členů komise: Zdůvodněte výběr vlnové délky při měření indexu lomu. Upřesněte pojem tenká vrstva. Upřesněte použitou holografii u studovaných vzorků. Jak je definovaná leptací selektivita? Proč s obsahem síry rostla hodnota zakázaného pásu? Upřesněte metodu vtlačování. Upřesněte podmínky expozice elektronovým svazkem.	cze
dc.description.department	Fakulta chemicko-technologická	cze
dc.description.grade	Dokončená práce s úspěšnou obhajobou	cze
dc.format	77 s.
dc.identifier.stag	50217
dc.identifier.uri	https://hdl.handle.net/10195/85386
dc.language.iso	cze
dc.publisher	Univerzita Pardubice	cze
dc.rights	Bez omezení
dc.subject	Ge20Sb10SxSe70-x	cze
dc.subject	Ge-Sb-S-Se	cze
dc.subject	vakuově napařené tenké vrstvy skla	cze
dc.subject	optické vlastnosti	cze
dc.subject	strukturování	cze
dc.subject	metoda vtlačování za horka	cze
dc.subject	litografie elektronovým svazkem (EBL)	cze
dc.subject	litografie fokusovaným iontovým svazkem (FIB)	cze
dc.subject	přímý laserový zápis (DLW)	cze
dc.subject	laserová holografie	cze
dc.subject	Ge20Sb10SxSe70-x	eng
dc.subject	Ge-Sb-S-Se	eng
dc.subject	thermally evaporated thin glass films	eng
dc.subject	optical properties	eng
dc.subject	structuring	eng
dc.subject	hot embossing	eng
dc.subject	electron beam lithography (EBL)	eng
dc.subject	focused ion beam lithography (FIB)	eng
dc.subject	direct laser writing (DLW)	eng
dc.subject	laser holography	eng
dc.thesis.degree-discipline	Materiálové inženýrství	cze
dc.thesis.degree-grantor	Univerzita Pardubice. Fakulta chemicko-technologická	cze
dc.thesis.degree-name	Ing.
dc.thesis.degree-program	Materiálové inženýrství	cze
dc.title	Strukturování vakuově napařených amorfních tenkých vrstev systému Ge-Sb-S-Se	cze
dc.title.alternative	Structuring of thermally evaporated amorphous thin films of Ge-Sb-S-Se system	eng
dc.type	diplomová práce	cze
dspace.entity.type	Publication