Publikace: Charakterizace reliéfních difrakčních struktur optickými a skenovacími metodami
Diplomová práceOmezený přístupNačítá se...
Datum
Autoři
Karlovec, Martin
Název časopisu
ISSN časopisu
Název svazku
Nakladatel
Univerzita Pardubice
Abstrakt
Práce se zabývá studiem topologie reliéfních difrakčních mřížek a jejich difrakcí. Jsou kvalitativně porovnávány mřížky zhotovené metodami jako je scatterometrie, optická mikroskopie, elektronová mikroskopie, mikroskopie atomárních sil. Dále je posouzena vhodnost jednotlivých metod k určení základních parametrů difrakčních mřížek.
Popis
Klíčová slova
difrakční mřížky, hologramy, scatterometrie, optická mikroskopie, elektronová mikroskopie, mikroskopie atomárních sil, diffraction gratings, holograms, scatterometrie, optical microscopy, electron microscopy, atomic force microscopy