Charakterizace reliéfních difrakčních struktur optickými a skenovacími metodami

Karlovec, Martin

Publikace:
Charakterizace reliéfních difrakčních struktur optickými a skenovacími metodami

Diplomová práceOmezený přístup

dc.contributor.advisor	Mistrík, Jan	cze
dc.contributor.author	Karlovec, Martin
dc.contributor.referee	Aubrecht, Ivo	cze
dc.date.accepted	2014	cze
dc.date.accessioned	2014-06-19T10:17:25Z
dc.date.available	2014-06-19T10:17:25Z
dc.date.issued	2013
dc.description.abstract	Práce se zabývá studiem topologie reliéfních difrakčních mřížek a jejich difrakcí. Jsou kvalitativně porovnávány mřížky zhotovené metodami jako je scatterometrie, optická mikroskopie, elektronová mikroskopie, mikroskopie atomárních sil. Dále je posouzena vhodnost jednotlivých metod k určení základních parametrů difrakčních mřížek.	cze
dc.description.abstract-translated	We study the topology of relief diffraction gratings and diffraction. They are qualitatively compared gratings made by methods such as scatterometrie, optical microscopy, electron microscopy, atomic force microscopy. Furthermore, the suitability of different methods to determine the basic parameters of the diffraction grating.	eng
dc.description.defence	doc. Ing. Petr Němec, Ph.D.: Jaký je váš podíl na měřeních, která proběhla? ing. Tomáš Syrový, Ph.D.: Jaké jsou možnosti jednotlivých použitých technik? doc. Ing. Michal Veselý, CSc.: Obrázky z AFM bez uvedení rozměrů nemají smysl. JAký lis lisuje rychlostní 100km/hod? ing. Jan VAliš, Ph.D.: Obrázky deformace válců jsou reálné?	cze
dc.description.department	Katedra polygrafie a fotofyziky	cze
dc.description.grade	Dokončená práce s úspěšnou obhajobou	cze
dc.format	75 s.	cze
dc.format.extent	2684257 bytes	cze
dc.format.mimetype	application/pdf	cze
dc.identifier	Univerzitní knihovna (archiv)	cze
dc.identifier.signature	D30266	cze
dc.identifier.stag	20857	cze
dc.identifier.uri	https://hdl.handle.net/10195/56301
dc.language.iso	cze
dc.publisher	Univerzita Pardubice	cze
dc.rights	Práce není přístupná	cze
dc.subject	difrakční mřížky	cze
dc.subject	hologramy	cze
dc.subject	scatterometrie	cze
dc.subject	optická mikroskopie	cze
dc.subject	elektronová mikroskopie	cze
dc.subject	mikroskopie atomárních sil	cze
dc.subject	diffraction gratings	cze
dc.subject	holograms	cze
dc.subject	scatterometrie	cze
dc.subject	optical microscopy	cze
dc.subject	electron microscopy	cze
dc.subject	atomic force microscopy	cze
dc.thesis.degree-discipline	Polygrafie	cze
dc.thesis.degree-grantor	Univerzita Pardubice. Fakulta chemicko-technologická	cze
dc.thesis.degree-name	Ing.	cze
dc.thesis.degree-program	Polygrafie	cze
dc.title	Charakterizace reliéfních difrakčních struktur optickými a skenovacími metodami	cze
dc.title.alternative	Characterization of relief diffractive structures by optical and scanning methods	eng
dc.type	diplomová práce	cze
dspace.entity.type	Publication