Digitální knihovna UPCE přechází na novou verzi. Omluvte prosím případné komplikace. / The UPCE Digital Library is migrating to a new version. We apologize for any inconvenience.

Publikace:
Optical properties and surface structuring of Ge20Sb5S75 amorphous chalcogenide thin films deposited by spin-coating and vacuum thermal evaporation

Článekopen accesspeer-reviewedpostprint
Zobrazit minimální záznam
dc.contributor.authorŠlang, Stanislavcze
dc.contributor.authorJaníček, Petrcze
dc.contributor.authorPálka, Karelcze
dc.contributor.authorLoghina, Liudmilacze
dc.contributor.authorVlček, Miroslavcze
dc.date.accessioned2019-05-22T08:17:01Z
dc.date.available2019-05-22T08:17:01Z
dc.date.issued2018eng
dc.description.abstractThin amorphous films of Ge20Sb5S75 composition have been deposited by spin-coating and vacuum thermal evaporation techniques. Their optical properties were investigated by spectroscopic ellipsometry in UV-NIR spectral region. We report on the comparison of thermo- and photo-induced changes in optical parameters, structure and chemical resistance of studied samples. Induced changes of films structure connected with changes of chemical stability were exploited for their surface structuring by photolithography and electron beam lithography.eng
dc.description.abstract-translatedTenké amorfní vrstvy složení Ge20Sb5S75 byly deponovány spin-coatingem a vakuovým napařováním. Jejich optické vlastnosti byly zkoumány metodami spektroskopické elipsometrie v UV-NIR spektru. Tato práce je zaměřena na porovnání tepelně a fotoindukovaných změn optických vlastností, struktury a chemické odolnosti studovaných vrstev. Indukované změny struktury vrstev spojené se změnami jejich chemické stability byly využity pro povrchové strukturování pomocí fotolitografie a elektronové litografie.cze
dc.formatp. 310-318eng
dc.identifier.doi10.1016/j.matchemphys.2017.10.025eng
dc.identifier.issn0254-0584eng
dc.identifier.obd39881118eng
dc.identifier.scopus2-s2.0-85031897561
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/10195/72611
dc.identifier.wos000415771700038eng
dc.language.isoengeng
dc.peerreviewedyeseng
dc.publicationstatuspostprinteng
dc.publisherElsevier Science SAeng
dc.relation.ispartofMaterials Chemistry and Physics, volume 203, issue: Januaryeng
dc.rightsembargoed accesseng
dc.subjectChalcogenide glass thin filmeng
dc.subjectSpin-coatingeng
dc.subjectThermal evaporationeng
dc.subjectElectron beam lithographyeng
dc.subjectPhotolithographyeng
dc.subjecttenké vrstvy chalkogenidových skelcze
dc.subjectspin-coatingcze
dc.subjectvakuové napařovánícze
dc.subjectelektronová litografiecze
dc.subjectfotolitografiecze
dc.titleOptical properties and surface structuring of Ge20Sb5S75 amorphous chalcogenide thin films deposited by spin-coating and vacuum thermal evaporationeng
dc.title.alternativeOptické vlastnosti a strukturování povrchu tenkých amorfních chalkogenidových vrstev Ge20Sb5S75 deponovaných metodami spin-coatingu a vakuového napařovánícze
dc.typeArticleeng
dspace.entity.typePublication

Soubory

Původní svazek

Nyní se zobrazuje 1 - 1 z 1
Náhled
Název:
Manuscript_NEW.pdf
Velikost:
1.2 MB
Formát:
Adobe Portable Document Format
Popis:
Manuscript_NEW.pdf (1.2 MB)

Kolekce

Publikační činnost akademických pracovníků UPCE / UPCE Research Outputs
Publikační činnost akademických pracovníků FChT / FChT Research Outputs