Příprava a vlastnosti mikroelektrod pro měření elektrických vlastností chalkogenidů - Vala, Radim (Univerzita Pardubice, 2015)
Tato práce se zabývá procesem přípravy mikroelektrod pomocí litografických metod. V teoretické části se tato práce zabývá srovnáním a popisem nejčastěji uţívaných litografických metod, jejich výhodami a specifikacemi. Poté jsou zde popsány vlastnosti nejčastěji uţívaných kovů určených pro výrobu. Praktická část se zaměřuje na popis přípravy Cu, Al mikroelektrod a popisem jejich optických a elektrických vlastností. Mikroelektrody mají slouţit pro spínání CB RAM paměti.
Preparation and properties of microelectrodes, dedicated for electrical measurement in chalcogenides
Keywords: Microelectrodes; UV lithography; Contact lithography; Projection lithography; mikroelektrody; UV litografie; kontaktní litografie; projekční litografie