Depozice a charakterizace tenkých vrstev systému As-S - Jančálek, Jiří (Univerzita Pardubice, 2018)
Tato diplomová práce se zabývá studiem struktury a vlastností tenkých vrstev chalkogenidových skel systému As-S připravených vakuovým napařováním a metodou spin-coating. Studovány bylo složení, struktura, optické vlastnosti, chemická odolnost a možnosti strukturování tenkých vrstev skel o složení As30S70, As35S65 a As40S60 pomocí litografie elektronovým svazkem s následným selektivním leptáním.
Deposition and properties of As-S chalcogenide glass thin films
Keywords: chalcogenide glasses; thin films; vacuum thermal evaporation; spin-coating; chalcogenide glasses; thin films; vacuum thermal evaporation; spin-coating