Strukturování vakuově napařených amorfních tenkých vrstev systému Ge-Sb-S-Se - Damek, Lukáš (Univerzita Pardubice, 2025)
Tato diplomová práce se zabývá studiem optických, strukturních a fyzikálně-chemických vlastností, vakuově napařených tenkých vrstev chalkogenidových skel, systému Ge20Sb10SxSe70-x, kde x = 0; 10; 20; 30; 40; 50; 60 a 70. Byly studovány vlivy temperace a expozice polychromatickým zářením na jejich vlastnosti. Dále byly zkoumány možnosti strukturování těchto tenkých vrstev, s využitím metody vtlačování za horka, litografie elektronovým svazkem, litografie fokusovaným iontovým svazkem, přímým laserovým zápisem a laserovým holografickým zápisem.
Structuring of thermally evaporated amorphous thin films of Ge-Sb-S-Se system
Keywords: Ge20Sb10SxSe70-x; Ge-Sb-S-Se; vakuově napařené tenké vrstvy skla; optické vlastnosti; strukturování; metoda vtlačování za horka; litografie elektronovým svazkem (EBL); litografie fokusovaným iontovým svazkem (FIB); přímý laserový zápis (DLW); laserová holografie; Ge20Sb10SxSe70-x; Ge-Sb-S-Se; thermally evaporated thin glass films; optical properties; structuring; hot embossing; electron beam lithography (EBL); focused ion beam lithography (FIB); direct laser writing (DLW); laser holography