Příprava a strukturování tenkých vrstev amorfních chalkogenidů - Bůžek, Jan (Univerzita Pardubice, 2017)
Pro účely této práce byly připraveny objemové vzorky chalkogenidových skel o složení As40S60, As22S78, As40Se60, As20Se80, Ge5Se95 a Ge8Se92, ze kterých byly následně připraveny tenké vrstvy metodou vakuového napařování a spin-coating. Do připravených tenkých vrstev jsou následně přenášeny struktury metodou hot embosing využívající měkkou polydimethilsiloxanovou (PDMS) raznici. V rámci práce je studována závislost hloubky připravených lineárních mřížek na procesních parametrech v průběhu embosování (teplota, tlak, doba embosování).
Preparation and Structuring of Amorphous Chalcogenide Thin Films
Keywords: chalkogenidová skla; hot embosing; micro-transfer molding; PDMS raznice; chalcogenide glasses; hot embossing; micro-transfer molding; PDMS stamp