Digitální knihovnaUPCE
 

Příprava a charakterizace tenkých vrstev Ge-Bi-Se

Diplomová práceOtevřený přístup
Náhled

Datum publikování

2019

Vedoucí práce

Název časopisu

Název svazku

Vydavatel

Univerzita Pardubice

Abstrakt

Tato diplomová práce je věnována přípravě a charakterizaci tenkých vrstev systému Ge-Bi-Se, které byly připraveny fyzikální depozicí z plynné fáze metodou co-sputtering. V teoretické části jsou uvedeny charakteristiky tenkých vrstev, mechanizmy jejich růstu, systémy Ge-Bi-Se, rozdělení depozičních technik a přiblížení používaných materiálů. Experimentální část je věnována charakterizaci připravených vrstev, přičemž každý vzorek obsahuje jiné zastoupení prvků. Tyto vzorky byly měřeny charakterizačními metodami: elipsometrie, mikroskopie atomárních sil, skenovací elektronová mikroskopie s energiově-disperzním rentgenovým analyzátorem, rentgenová difrakční analýza a profilometrie.

Rozsah stran

62 s.

ISSN

Trvalý odkaz na tento záznam

Projekt

Zdrojový dokument

Vydavatelská verze

Přístup k e-verzi

bez omezení

Název akce

ISBN

Studijní obor

Polygrafie

Studijní program

Polygrafie

Signatura tištěné verze

D40306

Umístění tištěné verze

Univerzitní knihovna (studovna)

Přístup k tištěné verzi

Klíčová slova

tenké vrstvy, systém Ge-Bi-Se, co-sputtering, sputtering, charakterizace tenkých vrstev, thin films, system Ge-Bi-Se, co-sputtering, sputtering, characterization thin films

Endorsement

Review

item.page.supplemented

item.page.referenced