Strukturování tenkých vrstev chalkogenidového skla složení As50Se50 pomocí elektronové litografie

Show simple item record

dc.contributor.advisor Pálka, Karel
dc.contributor.author Kurka, Michal
dc.date.accessioned 2019-06-18T08:09:03Z
dc.date.available 2019-06-18T08:09:03Z
dc.date.issued 2019
dc.date.submitted 2019-05-07
dc.identifier Univerzitní knihovna (sklad). Práce bude přístupná od 4.6.2022. cze
dc.identifier.uri https://hdl.handle.net/10195/73365
dc.description.abstract Tato diplomová práce se věnuje studiu vlastností tenkých vrstev chalkogenidových skel složení As50Se50 a možnosti jejich strukturování pomocí elektronové litografie. Tenké vrstvy byly připraveny metodou vakuového napaření. Na tenkých vrstvách byly následně studovány změny optických parametrů, struktury a chemické odolnosti vlivem expozice polychromatickým elektromagnetickým zářením a svazkem elektronů. cze
dc.format 78 s.
dc.language.iso cze
dc.publisher Univerzita Pardubice cze
dc.rights Práce bude přístupná od 4.6.2022. cze
dc.subject chalkogenidová skla cze
dc.subject tenké vrstvy cze
dc.subject elektronová litografie cze
dc.subject chalcogenide glasses eng
dc.subject thin films eng
dc.subject electron beam lithography eng
dc.title Strukturování tenkých vrstev chalkogenidového skla složení As50Se50 pomocí elektronové litografie cze
dc.title.alternative Structuring of As50Se50 chalcogenide glass thin films by electron beam lithography eng
dc.type diplomová práce cze
dc.contributor.referee Mistrík, Jan
dc.date.accepted 2019-06-03
dc.description.abstract-translated This thesis deals with a study of As50Se50 chalcogenide glass thin films properties and possibilities of their structuring using electron beam lithography. Thin films were prepared by vacuum thermal evaporation method. Changes of the structure, optical parameters and chemical resistance in dependence on the exposure to polychromatic electromagnetic radiation and electron beam of these thin films, were studied. eng
dc.description.department Fakulta chemicko-technologická cze
dc.thesis.degree-discipline Materiálové inženýrství cze
dc.thesis.degree-name Ing.
dc.thesis.degree-grantor Univerzita Pardubice. Fakulta chemicko-technologická cze
dc.identifier.signature D39336
dc.thesis.degree-program Chemie a technologie materiálů cze
dc.description.defence Diplomant seznámil komisi se svojí diplomovou prací. Dále reagoval na připomínky oponenta. Zodpověděl otázky členů komise: Diskutujte grafickou závislost urychlovacího napětí. cze
dc.identifier.stag 37951
dc.description.grade Dokončená práce s úspěšnou obhajobou cze


This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record

Search DSpace


Advanced Search

Browse

My Account