Digitální knihovnaUPCE
 

Optimalizace difrakčních mřížek a měření jejich difrakční účinnosti

Diplomová práceOtevřený přístup
Náhled

Datum publikování

2019

Vedoucí práce

Oponent

Název časopisu

Název svazku

Vydavatel

Univerzita Pardubice

Abstrakt

Předložená práce je rozdělená na teoretickou a experimentální část. Teoretická část se zabývá difrakčními mřížkami. Nejprve popisuje typy, se kterými se v literatuře lze setkat, dále se zaměřuje na tenkou binární difrakční mřížku a fyzikální děje s ní spojené, zejména tedy difrakční účinnost, která je hlavním tématem práce. Teoretická část je pak uzavřená stručným přehledem vybraných technologií zápisu difrakčních mřížek a metodami sloužícími k popisu jejich struktury a vyhodnocení. Cílem experimentální části je vyhodnocení naměřených profilů vzorků difrakčních mřížek, softwarový výpočet difrakční účinnosti na základě teorie o tenké difrakční mřížce řešené pomocí transmitanční funkce a porovnání s experimentálním měřením na zařízení pro měření difrakční účinnosti mřížek. Závěrem jsou vyhodnoceny vzorky s nejlepší difrakční účinnosti a experiment je okomentován jako celek.

Rozsah stran

71 s.

ISSN

Trvalý odkaz na tento záznam

Projekt

Zdrojový dokument

Vydavatelská verze

Přístup k e-verzi

Bez omezení

Název akce

ISBN

Studijní obor

Polygrafie

Studijní program

Polygrafie

Signatura tištěné verze

D40217

Umístění tištěné verze

Univerzitní knihovna (studovna)

Přístup k tištěné verzi

Klíčová slova

difrakční účinnost, tenká difrakční mřížka, binární profil, optická litografie, diffraction efficiency, thin diffraction grating, binary profile, optical lithography

Endorsement

Review

item.page.supplemented

item.page.referenced