Optimalizace difrakčních mřížek a měření jejich difrakční účinnosti
Diplomová práceOtevřený přístupDatum publikování
2019
Autoři
Vedoucí práce
Oponent
Název časopisu
Název svazku
Vydavatel
Univerzita Pardubice
Abstrakt
Předložená práce je rozdělená na teoretickou a experimentální část. Teoretická část se zabývá difrakčními mřížkami. Nejprve popisuje typy, se kterými se v literatuře lze setkat, dále se zaměřuje na tenkou binární difrakční mřížku a fyzikální děje s ní spojené, zejména tedy difrakční účinnost, která je hlavním tématem práce. Teoretická část je pak uzavřená stručným přehledem vybraných technologií zápisu difrakčních mřížek a metodami sloužícími k popisu jejich struktury a vyhodnocení.
Cílem experimentální části je vyhodnocení naměřených profilů vzorků difrakčních mřížek, softwarový výpočet difrakční účinnosti na základě teorie o tenké difrakční mřížce řešené pomocí transmitanční funkce a porovnání s experimentálním měřením na zařízení pro měření difrakční účinnosti mřížek. Závěrem jsou vyhodnoceny vzorky s nejlepší difrakční účinnosti a experiment je okomentován jako celek.
Rozsah stran
71 s.
ISSN
Trvalý odkaz na tento záznam
Projekt
Zdrojový dokument
Vydavatelská verze
Přístup k e-verzi
Bez omezení
Název akce
ISBN
Studijní obor
Polygrafie
Studijní program
Polygrafie
Signatura tištěné verze
D40217
Umístění tištěné verze
Univerzitní knihovna (studovna)
Přístup k tištěné verzi
Klíčová slova
difrakční účinnost, tenká difrakční mřížka, binární profil, optická litografie, diffraction efficiency, thin diffraction grating, binary profile, optical lithography