Zobrazit minimální záznam
dc.contributor.author |
Ohlidal, Ivan
|
cze |
dc.contributor.author |
Vohanka, Jiri
|
cze |
dc.contributor.author |
Mistrík, Jan
|
cze |
dc.contributor.author |
Cermak, Martin
|
cze |
dc.contributor.author |
Franta, Daniel
|
cze |
dc.date.accessioned |
2019-05-22T08:29:22Z |
|
dc.date.available |
2019-05-22T08:29:22Z |
|
dc.date.issued |
2018 |
eng |
dc.identifier.issn |
0142-2421 |
eng |
dc.identifier.uri |
https://hdl.handle.net/10195/72715 |
|
dc.description.abstract |
Results of the optical characterization of randomly rough silicon surfaces covered with native oxide layers based on processing experimental data obtained by ellipsometry and reflectometry are presented. It is shown that the Rayleigh-Rice theory is suitable theoretical approach for characterizing micro-rough surfaces in contrast to effective medium approximation. Combination of the Rayleigh-Rice theory and scalar diffraction theory is efficient and reliable approach for characterizing rougher surfaces with the rms values of heights larger than 10 nm. Thickness of native oxide layers and roughness parameters, ie, the rms values of heights and autocorrelation lengths, are determined for micro-rough and rougher surfaces using the corresponding theoretical approaches. |
eng |
dc.format |
p. 1230-1233 |
eng |
dc.language.iso |
eng |
eng |
dc.publisher |
John Wiley & Sons Ltd. |
eng |
dc.relation.ispartof |
Surface and Interface Analysis, volume 50, issue: 11 |
eng |
dc.rights |
pouze v rámci univerzity |
eng |
dc.subject |
native oxide layers |
eng |
dc.subject |
optical characterization |
eng |
dc.subject |
roughness |
eng |
dc.subject |
silicon surfaces |
eng |
dc.subject |
drsnost |
cze |
dc.subject |
optická charakterizace |
cze |
dc.subject |
Si povrch |
cze |
dc.subject |
nativní povrchová vrstva |
cze |
dc.title |
Different theoretical approaches at optical characterization of randomly rough silicon surfaces covered with native oxide layers |
eng |
dc.title.alternative |
Různé teoretické přístupy při optické charakterizaci náhodně drsných křemíkový povrchů pokrytý nativní oxidovou vrstvou |
cze |
dc.type |
article |
eng |
dc.description.abstract-translated |
Výsledky optické charakteristiky náhodně drsných křemíkových povrchů pokrytých přirozenými Oxidové vrstvy založené na zpracování experimentálních dat získaných ellipsometrií a reflexometrií jsou prezentovány. Ukazuje se, že Rayleigh-Riceova teorie je vhodným teoretickým přístupem pro charakterizující mikrostruktury povrchu v protikladu k efektivní aproximaci médií. Kombinace teorie Rayleigh-Rice a skalární difrakční teorie je efektivní a spolehlivý přístup pro charakterizaci hrubších povrchů s efektivními hodnotami výšky větší než 10 nm. Tloušťka nativní vrstvy oxidu a parametry drsnosti, tj. hodnoty efektivnosti výšky a autokorelace délky, jsou určeny pro drsné a hrubší povrchy pomocí odpovídajících teoretických přístupů. |
cze |
dc.event |
17th European Conference on Applications of Surface and Interface Analysis (ECASIA) |
eng |
dc.peerreviewed |
yes |
eng |
dc.publicationstatus |
published |
eng |
dc.identifier.doi |
10.1002/sia.6463 |
eng |
dc.relation.publisherversion |
https://onlinelibrary.wiley.com/doi/full/10.1002/sia.6463 |
eng |
dc.identifier.wos |
000448889600046 |
eng |
dc.identifier.scopus |
2-s2.0-85055424591 |
|
dc.identifier.obd |
39881630 |
eng |
Tento záznam se objevuje v následujících kolekcích
Zobrazit minimální záznam
|
Vyhledávání
Procházet
-
Vše v Digitální knihovně
-
Tato kolekce
Můj účet
|