Selective etching of spin-coated and thermally evaporated As30S45Se25 thin films

Show simple item record Pálka, Karel cze Šlang, Stanislav cze Bůžek, Jan cze Vlček, Miroslav cze 2017-05-11T11:11:49Z 2017-05-11T11:11:49Z 2016 eng
dc.identifier.issn 0022-3093 eng
dc.description.abstract Chalcogenide glasses are intensively studied materials due to their interesting optical properties such as high values of refractive index, wide transparency in IR, photosensitivity, etc.We report on the comparison of photo and thermo-induced changes in optical properties and chemical resistance of thermally evaporated and spincoated As30S45Se25 thin films. Significantly different trends of photo-induced changes in chemical resistance in both types of thin films such as negative etching of thermally evaporated thin films and positive etching of spin-coated thin films were observed. The structural changes responsible for the observed phenomena were investigated as well. eng
dc.format p. 104-109 eng
dc.language.iso eng eng
dc.relation.ispartof Journal of Non-Crystalline Solids, volume 447, issue: September 2016 eng
dc.rights embargoed access eng
dc.subject Chalcogenide glasses eng
dc.subject Selective etching eng
dc.subject Thin films eng
dc.subject Chalkogenidová skla cze
dc.subject selektivní leptání cze
dc.subject tenké vrstvy cze
dc.title Selective etching of spin-coated and thermally evaporated As30S45Se25 thin films eng
dc.title.alternative Selektivní leptání tenkých vrstev složení As30S45Se25 připravených spin-coatingem a vakuovým napařováním cze
dc.type article eng
dc.description.abstract-translated Chalkogenidová skla jsou intenzivně studované materiály díky jejich zajímavým optickým vlastnostem.V této práci se zabýváme studiem foto a termoindukovaných změn v optických vlastnostech a chemické odolnosti vakuově napařených a spin-coatingovaných tenkých vrstev složení As30S45Se25. Byly pozorovány výrazně odlišné trendy ve fotoindukovaných změnách optických parametrů a chemické odolnosti ve studovaných tenkých vrstvách (pozitivní leptání spin-coatingovaných tenkých vrstev a negativní leptání vakuově napařených). Taktéž byly studovány změny ve struktuře. cze
dc.peerreviewed yes eng
dc.publicationstatus postprint eng
dc.identifier.doi 10.1016/j.jnoncrysol.2016.05.042 eng
dc.identifier.wos 000381841200016 eng
dc.identifier.scopus 2-s2.0-84973570972
dc.identifier.obd 39877413 eng

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record

Search DSpace

Advanced Search


My Account