Příprava a vlastnosti mikroelektrod pro měření elektrických vlastností chalkogenidů
Bakalářská práceOmezený přístupDatum publikování
2015
Autoři
Vedoucí práce
Oponent
Název časopisu
Název svazku
Vydavatel
Univerzita Pardubice
Abstrakt
Tato práce se zabývá procesem přípravy mikroelektrod pomocí litografických metod. V teoretické části se tato práce zabývá srovnáním a popisem nejčastěji uţívaných litografických metod, jejich výhodami a specifikacemi. Poté jsou zde popsány vlastnosti nejčastěji uţívaných kovů určených pro výrobu. Praktická část se zaměřuje na popis přípravy Cu, Al mikroelektrod a popisem jejich optických a elektrických vlastností. Mikroelektrody mají slouţit pro spínání CB RAM paměti.
Rozsah stran
49 s.
ISSN
Trvalý odkaz na tento záznam
Projekt
Zdrojový dokument
Vydavatelská verze
Přístup k e-verzi
Práce není přístupná
Název akce
ISBN
Studijní obor
Chemie a technická chemie
Studijní program
Chemie a technická chemie
Signatura tištěné verze
D33804
Umístění tištěné verze
Univerzitní knihovna (studovna)
Přístup k tištěné verzi
Klíčová slova
Microelectrodes, UV lithography, Contact lithography, Projection lithography, mikroelektrody, UV litografie, kontaktní litografie, projekční litografie