Digitální knihovnaUPCE
 

Příprava a vlastnosti mikroelektrod pro měření elektrických vlastností chalkogenidů

Bakalářská práceOmezený přístup
Náhled

Datum publikování

2015

Vedoucí práce

Oponent

Název časopisu

Název svazku

Vydavatel

Univerzita Pardubice

Abstrakt

Tato práce se zabývá procesem přípravy mikroelektrod pomocí litografických metod. V teoretické části se tato práce zabývá srovnáním a popisem nejčastěji uţívaných litografických metod, jejich výhodami a specifikacemi. Poté jsou zde popsány vlastnosti nejčastěji uţívaných kovů určených pro výrobu. Praktická část se zaměřuje na popis přípravy Cu, Al mikroelektrod a popisem jejich optických a elektrických vlastností. Mikroelektrody mají slouţit pro spínání CB RAM paměti.

Rozsah stran

49 s.

ISSN

Trvalý odkaz na tento záznam

Projekt

Zdrojový dokument

Vydavatelská verze

Přístup k e-verzi

Práce není přístupná

Název akce

ISBN

Studijní obor

Chemie a technická chemie

Studijní program

Chemie a technická chemie

Signatura tištěné verze

D33804

Umístění tištěné verze

Univerzitní knihovna (studovna)

Přístup k tištěné verzi

Klíčová slova

Microelectrodes, UV lithography, Contact lithography, Projection lithography, mikroelektrody, UV litografie, kontaktní litografie, projekční litografie

Endorsement

Review

item.page.supplemented

item.page.referenced