Organické sloučeniny selenu jako prekurzory pro depozice atomárních vrstev

Charvot, Jaroslav

Publikace:
Organické sloučeniny selenu jako prekurzory pro depozice atomárních vrstev

Diplomová práceopen access

dc.contributor.advisor	Bureš, Filip
dc.contributor.author	Charvot, Jaroslav
dc.contributor.referee	Zima, Vítězslav
dc.date.accepted	2018-06-05
dc.date.accessioned	2018-06-14T05:58:31Z
dc.date.available	2018-06-14T05:58:31Z
dc.date.issued	2018
dc.date.submitted	2018-05-10
dc.description.abstract	Tato diplomová práce se zabývá technologií depozice atomárních vrstev (ALD), jejími principy, a především ALD prekurzory. Literární rešerše nejprve popisuje obecné vlastnosti ALD a dále se konkrétněji zaměřuje na dnes nejčastěji používané typy prekurzorů. V poslední části literární rešerše jsou pak popsány dostupné prekurzory selenu, jejich syntéza a případné využití při nanášení nanovrstev. Cílem experimentální části bylo připravit celkem osm molekul z toho čtyři alkylsilylselenidy a čtyři alkylstanylselenidy jako potenciální ALD prekurzory. Struktura a čistota všech připravených látek byla potvrzena pomocí NMR spektroskopie, GC/MS analýz a bodů varů. Pro zjištění tepelné stability byla provedena také DSC analýza. Na závěr jsou získané údaje kriticky zhodnoceny a diskutovány a byly vyvozeny základní vztahy typu struktura-vlastnosti.	cze
dc.description.abstract-translated	Atomic layers deposition (ALD) technology, its principles and especially ALD precursors are covered in this diploma work. Literature search focuses on general ALD principles and subsequently on the most commonly used types of precursors. The last part describes available selenium precursors, their synthesis, and applications. The experimental section aims towards preparation of four alkylsilylselenides and four alkylstanylselenides, as potential ALD precursors. The structure and purity of all prepared substances have been confirmed by NMR spectroscopy, GC/MS analysis, and boiling points. DSC analysis was also employed to determine thermal stability. Finally, all acquired data were compared, discussed, and fundamental structure-property relationships were elucidated.	eng
dc.description.defence	Student~přednesl~cca 15 min. přednášku na téma své diplomové práce s~ názvem Organické sloučeniny selenu jako prekurzory pro depozice atomárních vrstev. Po přečtení posudku školitele a oponenta se diplomant vyjádřil k dotazům oponentského posudku. K obhajobě práce byly vzneseny následující dotazy. doc. Ing.Radek Cibulka,~Ph.D Ovlivňuje práce se sloučeninami selenu přítomnost kyslíku? prof. Ing. Miroslav Ludwig,~CSc. Je připravená vrstva stabilní? Jaké bude využití vašich nanotrubek?prof. Ing.Milan Potáček,~CSc. Jak je to s toxicitou vámi připravených látek? Nezanášely látky při MS přístroj? Jak jste čistil vaše produkty pro analýzy? doc. Ing. Petr Šimůnek,~Ph.D. V protonovém spektru se neprojevily interakce se selenem?	cze
dc.description.department	Fakulta chemicko-technologická	cze
dc.description.grade	Dokončená práce s úspěšnou obhajobou	cze
dc.format	89 s.	cze
dc.identifier	Univerzitní knihovna ( studovna)	cze
dc.identifier.signature	D38587
dc.identifier.stag	35372
dc.identifier.uri	https://hdl.handle.net/10195/70595
dc.language.iso	cze
dc.publisher	Univerzita Pardubice	cze
dc.rights	Bez omezení
dc.subject	ALD	cze
dc.subject	selen	cze
dc.subject	prekurzor	cze
dc.subject	organokov	cze
dc.subject	těkavé sloučeniny	cze
dc.subject	ALD	eng
dc.subject	selenium	eng
dc.subject	precursor	eng
dc.subject	organometallic	eng
dc.subject	volatile compounds	eng
dc.thesis.degree-discipline	Organická chemie	cze
dc.thesis.degree-grantor	Univerzita Pardubice. Fakulta chemicko-technologická	cze
dc.thesis.degree-name	Ing.
dc.thesis.degree-program	Chemie	cze
dc.title	Organické sloučeniny selenu jako prekurzory pro depozice atomárních vrstev	cze
dc.title.alternative	Organic selenium compounds as precursors for atomic layer deposition	eng
dc.type	diplomová práce	cze
dspace.entity.type	Publication