Publikace: Příprava a vlastnosti mikroelektrod pro měření elektrických vlastností chalkogenidů
Bakalářská práceOmezený přístupNačítá se...
Datum
Autoři
Vala, Radim
Název časopisu
ISSN časopisu
Název svazku
Nakladatel
Univerzita Pardubice
Abstrakt
Tato práce se zabývá procesem přípravy mikroelektrod pomocí litografických metod. V teoretické části se tato práce zabývá srovnáním a popisem nejčastěji uţívaných litografických metod, jejich výhodami a specifikacemi. Poté jsou zde popsány vlastnosti nejčastěji uţívaných kovů určených pro výrobu. Praktická část se zaměřuje na popis přípravy Cu, Al mikroelektrod a popisem jejich optických a elektrických vlastností. Mikroelektrody mají slouţit pro spínání CB RAM paměti.
Popis
Klíčová slova
Microelectrodes, UV lithography, Contact lithography, Projection lithography, mikroelektrody, UV litografie, kontaktní litografie, projekční litografie