Strukturování tenkých vrstev chalkogenidového skla složení As50Se50 pomocí elektronové litografie

Kurka, Michal

Publikace:
Strukturování tenkých vrstev chalkogenidového skla složení As50Se50 pomocí elektronové litografie

Diplomová práceopen access

dc.contributor.advisor	Pálka, Karel
dc.contributor.author	Kurka, Michal
dc.contributor.referee	Mistrík, Jan
dc.date.accepted	2019-06-03
dc.date.accessioned	2019-06-18T08:09:03Z
dc.date.available	2019-06-18T08:09:03Z
dc.date.issued	2019
dc.date.submitted	2019-05-07
dc.description.abstract	Tato diplomová práce se věnuje studiu vlastností tenkých vrstev chalkogenidových skel složení As50Se50 a možnosti jejich strukturování pomocí elektronové litografie. Tenké vrstvy byly připraveny metodou vakuového napaření. Na tenkých vrstvách byly následně studovány změny optických parametrů, struktury a chemické odolnosti vlivem expozice polychromatickým elektromagnetickým zářením a svazkem elektronů.	cze
dc.description.abstract-translated	This thesis deals with a study of As50Se50 chalcogenide glass thin films properties and possibilities of their structuring using electron beam lithography. Thin films were prepared by vacuum thermal evaporation method. Changes of the structure, optical parameters and chemical resistance in dependence on the exposure to polychromatic electromagnetic radiation and electron beam of these thin films, were studied.	eng
dc.description.defence	Diplomant seznámil komisi se svojí diplomovou prací. Dále reagoval na připomínky oponenta. Zodpověděl otázky členů komise: Diskutujte grafickou závislost urychlovacího napětí.	cze
dc.description.department	Fakulta chemicko-technologická	cze
dc.description.grade	Dokončená práce s úspěšnou obhajobou	cze
dc.format	78 s.
dc.identifier	Univerzitní knihovna (studovna)	cze
dc.identifier.signature	D39336
dc.identifier.stag	37951
dc.identifier.uri	https://hdl.handle.net/10195/73365
dc.language.iso	cze
dc.publisher	Univerzita Pardubice	cze
dc.rights	bez omezení	cze
dc.subject	chalkogenidová skla	cze
dc.subject	tenké vrstvy	cze
dc.subject	elektronová litografie	cze
dc.subject	chalcogenide glasses	eng
dc.subject	thin films	eng
dc.subject	electron beam lithography	eng
dc.thesis.degree-discipline	Materiálové inženýrství	cze
dc.thesis.degree-grantor	Univerzita Pardubice. Fakulta chemicko-technologická	cze
dc.thesis.degree-name	Ing.
dc.thesis.degree-program	Chemie a technologie materiálů	cze
dc.title	Strukturování tenkých vrstev chalkogenidového skla složení As50Se50 pomocí elektronové litografie	cze
dc.title.alternative	Structuring of As50Se50 chalcogenide glass thin films by electron beam lithography	eng
dc.type	diplomová práce	cze
dspace.entity.type	Publication