Publikace: Strukturování tenkých vrstev chalkogenidového skla složení As50Se50 pomocí elektronové litografie
Diplomová práceopen accessNačítá se...
Datum
Autoři
Kurka, Michal
Název časopisu
ISSN časopisu
Název svazku
Nakladatel
Univerzita Pardubice
Abstrakt
Tato diplomová práce se věnuje studiu vlastností tenkých vrstev chalkogenidových skel složení As50Se50 a možnosti jejich strukturování pomocí elektronové litografie. Tenké vrstvy byly připraveny metodou vakuového napaření. Na tenkých vrstvách byly následně studovány změny optických parametrů, struktury a chemické odolnosti vlivem expozice polychromatickým elektromagnetickým zářením a svazkem elektronů.
Popis
Klíčová slova
chalkogenidová skla, tenké vrstvy, elektronová litografie, chalcogenide glasses, thin films, electron beam lithography