Publikace: Studium vybraných vlastností a struktury objemových nekrystalických materiálů a tenkých filmů
Disertační práceopen accessNačítá se...
Datum
Autoři
Vlasová, Martina
Název časopisu
ISSN časopisu
Název svazku
Nakladatel
Univerzita Pardubice
Abstrakt
Disertační práce je zaměřena na charakterizaci vlastností chalkogenidových skel a tenkých vrstev, které jsou obecně studovány pro využití především v oblasti optiky, elektroniky a mikroelektroniky. Z připravených objemových skel systémů Ge30Se70-xAsx, Ge30Se70-xInx, Ge30Se70-xTex byly metodou termického napařování připraveny tenké filmy, které byly charakterizovány a studovány.
K charakterizaci získaných objemových vzorků i tenkých filmů byla použita řada metod. Pomocí rentgenové difrakční analýzy byla zjišťována nepřítomnost krystalické fáze. Složení objemových vzorků skel a tenkých filmů bylo kontrolováno pomocí energiově disperzní analýzy. Struktura připravených objemových skel a tenkých filmů byla popsána a rovněž pomocí Ramanovy spektroskopie. U připravených chalkogenidových skel byla určena teplota skelné transformace, která souvisí s rigiditou systému. Důležitými parametry byly i zjištěné optické vlastností tenkých filmů.
Rovněž bylo studováno stárnutí tenkých filmů za různých experimentálních podmínek. Jako modelový tenkých film byl připraven a studován tenký film o složení (GeS2)0.8(Sb2S3)0.2. Toto složení bylo vybráno s ohledem na jeho snadnou přípravu a aplikovatelnost. Důvodem tohoto studia byl fakt, že stárnutí tenkých filmů rozhodujícím způsobem ovlivňuje jejich aplikovatelnost.
Zjištěná experimentální data jsou diskutována pomocí publikovaných výsledků.
Popis
Klíčová slova
amorfní chalkogenidy, tenké vrstvy, tepelné napařování, tepelné vlastnosti, optické vlastnosti, struktura, amorphous chalcogenides, thin films, thermal evaporation, thermal properties, optical properties, structure