Digitální knihovna UPCE přechází na novou verzi. Omluvte prosím případné komplikace. / The UPCE Digital Library is migrating to a new version. We apologize for any inconvenience.

Publikace:
Strukturování vakuově napařených tenkých vrstev systému As-Se

Bakalářská práceopen access
Načítá se...
Náhled

Datum

Autoři

Pavlíčková, Adéla

Název časopisu

ISSN časopisu

Název svazku

Nakladatel

Univerzita Pardubice

Výzkumné projekty

Organizační jednotky

Číslo časopisu

Abstrakt

Tato bakalářská práce se zabývá přípravou a studiem vlastností tenkých vrstev chalkogenidového skla o složení As50Se50. Příprava vrstev proběhla metodou vakuového napařování. V této práci je studován vliv temperace a expozice tenkých vrstev halogenovou lampou na strukturu, optické vlastnosti a chemickou odolnost. Dále je studován vliv expozice elektronovým svazkem na chemickou odolnost tenkých vrstev a možnost zápisu struktur do vrstev pomocí elektronové litografie.

Popis

Klíčová slova

chalkogenidová skla, vakuové napařování, tenké vrstvy, systém As-Se, chalcogenide glass, vacuum evaporation, thin layers, system As-Se

Citace

Permanentní identifikátor

Endorsement

Review

Supplemented By

Referenced By