Publikace: Strukturování vakuově napařených tenkých vrstev systému As-Se
Bakalářská práceopen accessNačítá se...
Datum
Autoři
Pavlíčková, Adéla
Název časopisu
ISSN časopisu
Název svazku
Nakladatel
Univerzita Pardubice
Abstrakt
Tato bakalářská práce se zabývá přípravou a studiem vlastností tenkých vrstev chalkogenidového skla o složení As50Se50. Příprava vrstev proběhla metodou vakuového napařování. V této práci je studován vliv temperace a expozice tenkých vrstev halogenovou lampou na strukturu, optické vlastnosti a chemickou odolnost. Dále je studován vliv expozice elektronovým svazkem na chemickou odolnost tenkých vrstev a možnost zápisu struktur do vrstev pomocí elektronové litografie.
Popis
Klíčová slova
chalkogenidová skla, vakuové napařování, tenké vrstvy, systém As-Se, chalcogenide glass, vacuum evaporation, thin layers, system As-Se