Publikace: Depozice a charakterizace tenkých vrstev systému As-S
Diplomová práceopen accessNačítá se...
Datum
Autoři
Jančálek, Jiří
Název časopisu
ISSN časopisu
Název svazku
Nakladatel
Univerzita Pardubice
Abstrakt
Tato diplomová práce se zabývá studiem struktury a vlastností tenkých vrstev chalkogenidových skel systému As-S připravených vakuovým napařováním a metodou spin-coating. Studovány bylo složení, struktura, optické vlastnosti, chemická odolnost a možnosti strukturování tenkých vrstev skel o složení As30S70, As35S65 a As40S60 pomocí litografie elektronovým svazkem s následným selektivním leptáním.
Popis
Klíčová slova
chalcogenide glasses, thin films, vacuum thermal evaporation, spin-coating, chalcogenide glasses, thin films, vacuum thermal evaporation, spin-coating