Pulzní laserová depozice tenkých amorfních vrstev systému As-S

Abstract

V práci jsou studovány foto- a termicky indukované změny struktury a optických vlastností tenkých amorfních vrstev systému As-S připravených metodou pulzní laserové depozice. Mikroanalýza chemického složení připravených tenkých vrstev byla prováděny metodou EDX. Struktura čerstvě deponovaných tenkých vrstev a jejich změny vyvolané expozicí a temperací byly popsány na základě analýzy Ramanových spekter. Optické vlastnosti a jejich foto- a termicky indukované změny byly studovány metodou spektrální elipsometrie s proměnným úhlem dopadu.