Publikace: Organokovové chalkogenidy prvků 13-té skupiny jako SSP pro depozice tenkých vrstev.
Bakalářská práceOmezený přístupNačítá se...
Soubory
Datum
Autoři
Řičica, Tomáš
Název časopisu
ISSN časopisu
Název svazku
Nakladatel
Univerzita Pardubice
Abstrakt
Práce byla zaměřena na organokovové sloučeniny 13. skupiny s chalkogenidy užívané jako SSP pro depozice tenkých vrstev III ? VI materiálů pomocí metody MOCVD. Hlavní pozornost byla upřena na chemickou strukturu a složení SSP obsahující galium a indium. Byly zkoumány především jejich sublimační a rozkladné teploty, které jsou závislé zejména na navázaných alkyl nebo aryl substituentech. Tyto různé depoziční teploty vedly k ukládání tenkých vrstev s rozdílnými strukturami. Jejichž elektrické vlastnosti byly zkoumány.
Popis
Klíčová slova
SSP, MOCVD, 13. skupina, II-VI a III-VI materiál, tenká vrstva, 13. group, II-VI a III-VI material, thin film