Publikace: Strukturování tenkých vrstev chalkogenidových skel systému As-S pomocí litografických procesů
Bakalářská práceOmezený přístupNačítá se...
Datum
Autoři
Jančálek, Jiří
Název časopisu
ISSN časopisu
Název svazku
Nakladatel
Univerzita Pardubice
Abstrakt
Tato bakalářská práce se zabývá studiem fyzikálně - chemických vlastností a možností strukturování povrchu tenkých vrstev chalkogenidového skla o složení As35S65 . Studovány byly optické vlastnosti, chemická odolnost, struktura tenkých vrstev a jejich termo- a fotoindukované změny. Ke studiu strukturování povrchu bylo použito optické a elektronové litografie.
Popis
Klíčová slova
chalkogenidová skla, tenké vrstvy, optická litografie, elektronová litografie, chalcogenide glasses, thin films, optical lithography, electron beam lithography