Příprava a charakterizace tenkých vrstev Si3N4

Abstract

Diplomová práce se zabývá materiály s fázovou změnou a jejich ochranou pomocí krycí vrstvy. Teoretická část se věnuje samotným materiálům, jejich vlastnostem, fázovým přechodům mezi nimi a jejich využití. Představuje také depoziční techniky pro přípravu tenkých vrstev těchto materiálů. Experimentální část popisuje přípravu a charakterizaci vrstev Si3N4 pro ochranu materiálů s fázovou změnou. Vrstvy byly vytvořeny pomocí magnetronového naprašování a analyzovány spektroskopickou elipsometrií s proměnným úhlem dopadu, infračervenou spektroskopií, skenovací elektronovou mikroskopií s energiově disperzním analyzátorem a mikroskopií atomárních sil.