Digitální knihovna UPCE přechází na novou verzi. Omluvte prosím případné komplikace. / The UPCE Digital Library is migrating to a new version. We apologize for any inconvenience.

Publikace:
Cyklické silylselenidy jako prekurzory pro depozice atomárních vrstev

Bakalářská práceopen access
Zobrazit minimální záznam
dc.contributor.advisorBureš, Filip
dc.contributor.authorPokorný, Daniel
dc.date.accepted2021-08-23
dc.date.accessioned2021-09-06T07:31:25Z
dc.date.available2021-09-06T07:31:25Z
dc.date.issued2021
dc.date.submitted2021-06-16
dc.description.abstractV rámci této bakalářské práce byla vypracována literární rešerše historie, využití a představení prekurzorů selenu pro technologii depozice atomárních vrstev (ALD). V experimentální části byly připraveny tři prekurzory na bázi cyklických silylselenidů, z nichž jeden nebyl v literatuře dosud popsán. Výchozí sloučeninou pro všechny cílové sloučeniny je selenid lithný, připravený in situ z elementárního selenu a triethylborohydridu lithného, který následně reagoval s příslušnými chloralkylsilany. Struktura, čistota, stálost a základní fyzikální vlastnosti připravených molekul byly potvrzeny 1H-, 13C-, 29Si- a 77Se-NMR spektroskopií, GC/MS analýzou a termická stabilita metodami DSC a TG analýz. V závěrečné části je porovnána schopnost tvorby selenových tenkých vrstev u připravených prekurzorů.cze
dc.description.abstract-translatedA literature search work focusing on history and applications of selenium precursors for Atomic Layer Deposition (ALD) technology has been introduced in this bachelor thesis. Three precursors based on cyclic silylselenides, one completely novel, were prepared within the experimental part. Starting materials for all target molecules involved lithium selenide, prepared in situ from elemental selenium and lithium triethyborohydride, which subsequently reacted with corresponding chloroalkylsilanes. Their structure, purity, stability, and fundamental physical properties have been confirmed by 1H-, 13C-, 29Si-, and 77Se-NMR spectroscopy, GC/MS analysis, and thermal stability by DSC and TGA methods. The capability of particular precursors to form selenium layers is discussed and compared at the end of the thesis.eng
dc.description.defenceJaká je toxicita připravených derivátů? Nebyla pozorována oxidace atomů selenu přítomných v prekurzorech? Jak velikost kruhu použitého prekurzoru ovlivňuje homogenitu vrstev nanášených při ALD? Jak velikost kruhu prekurzorů ovlivňuje jejich teplotní stabilitu? Dotazy byly uspokojivě zodpovězeny.cze
dc.description.departmentFakulta chemicko-technologickácze
dc.description.gradeDokončená práce s úspěšnou obhajoboucze
dc.format57 s
dc.identifier.stag41722
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/10195/78148
dc.language.isocze
dc.publisherUniverzita Pardubicecze
dc.rightsBez omezení
dc.subjectcyklický silylselenidcze
dc.subjectselencze
dc.subjectsyntézacze
dc.subjectdepozice atomárních vrstev (ALD)cze
dc.subjectcyclic silylselenideeng
dc.subjectseleniumeng
dc.subjectsynthesiseng
dc.subjectatomic layer deposition (ALD)eng
dc.thesis.degree-disciplineChemie a technická chemiecze
dc.thesis.degree-grantorUniverzita Pardubice. Fakulta chemicko-technologickácze
dc.thesis.degree-nameBc.
dc.thesis.degree-programChemie a technická chemiecze
dc.titleCyklické silylselenidy jako prekurzory pro depozice atomárních vrstevcze
dc.title.alternativeCyclic silylselenides as precursors for atomic layer depositioneng
dc.typebakalářská prácecze
dspace.entity.typePublication

Soubory

Původní svazek

Nyní se zobrazuje 1 - 2 z 2
Náhled
Název:
PokornyD_CyklickeSilylselenidy_FB_2021.pdf
Velikost:
3.14 MB
Formát:
Adobe Portable Document Format
Popis:
Plný text práce
Plný text práce (3.14 MB)
Náhled
Název:
BuresF_CyklickeSilylselenidy_DP_2021.pdf
Velikost:
568.11 KB
Formát:
Adobe Portable Document Format
Popis:
Posudek vedoucího práce
Posudek vedoucího práce (568.11 KB)

Kolekce

Bakalářské práce / Bachelor's works ÚOChT FCHT (Bc.)
Vysokoškolské kvalifikační práce / Theses, dissertations, etc.