Publikace: Struktura a vlastnosti tenkých vrstev systému Ge25S75-xSex
Diplomová práceopen accessNačítá se...
Datum
Autoři
Kubját, Richard
Název časopisu
ISSN časopisu
Název svazku
Nakladatel
Univerzita Pardubice
Abstrakt
Tato diplomová práce se zabývá syntézou amorfních chalkogenidů a přípravou jejich tenkých vrstev. Syntetizováno bylo šest skel systému Ge-S-Se a byly připraveny jejich tenké vrstvy metodou vakuového napařování. EDX analýzou bylo studováno složení deponovaných vrstev. Byl studován vliv expozice a temperace na jejich strukturu a optické vlastnosti s využitím Ramanovy a UV/VIS spektroskopie. Dále byl studován vliv prehistorie tenkých vrstev na jejich chemickou odolnost vůči alkalickým leptacím lázním.
Popis
Klíčová slova
chalkogenidová skla, systém Ge-S-Se, tenké vrstvy, Ramanova spektroskopie, UV/VIS spektroskopie, selektivní leptání, chalcogenide glasses, system Ge-S-Se system, thin films, Raman spectroscopy, UV/VIS spectroscopy, selective etching