Publikace: Příprava a strukturování tenkých vrstev amorfních chalkogenidů
Disertační práceopen accessNačítá se...
Datum
Autoři
Bůžek, Jan
Název časopisu
ISSN časopisu
Název svazku
Nakladatel
Univerzita Pardubice
Abstrakt
Pro účely této práce byly připraveny objemové vzorky chalkogenidových skel o složení As40S60, As22S78, As40Se60, As20Se80, Ge5Se95 a Ge8Se92, ze kterých byly následně připraveny tenké vrstvy metodou vakuového napařování a spin-coating. Do připravených tenkých vrstev jsou následně přenášeny struktury metodou hot embosing využívající měkkou polydimethilsiloxanovou (PDMS) raznici. V rámci práce je studována závislost hloubky připravených lineárních mřížek na procesních parametrech v průběhu embosování (teplota, tlak, doba embosování).
Popis
Klíčová slova
chalkogenidová skla, hot embosing, micro-transfer molding, PDMS raznice, chalcogenide glasses, hot embossing, micro-transfer molding, PDMS stamp