Digitální knihovna UPCE přechází na novou verzi. Omluvte prosím případné komplikace. / The UPCE Digital Library is migrating to a new version. We apologize for any inconvenience.

Publikace:
Příprava a strukturování tenkých vrstev amorfních chalkogenidů

Disertační práceopen access
Načítá se...
Náhled

Datum

Autoři

Bůžek, Jan

Název časopisu

ISSN časopisu

Název svazku

Nakladatel

Univerzita Pardubice

Výzkumné projekty

Organizační jednotky

Číslo časopisu

Abstrakt

Pro účely této práce byly připraveny objemové vzorky chalkogenidových skel o složení As40S60, As22S78, As40Se60, As20Se80, Ge5Se95 a Ge8Se92, ze kterých byly následně připraveny tenké vrstvy metodou vakuového napařování a spin-coating. Do připravených tenkých vrstev jsou následně přenášeny struktury metodou hot embosing využívající měkkou polydimethilsiloxanovou (PDMS) raznici. V rámci práce je studována závislost hloubky připravených lineárních mřížek na procesních parametrech v průběhu embosování (teplota, tlak, doba embosování).

Popis

Klíčová slova

chalkogenidová skla, hot embosing, micro-transfer molding, PDMS raznice, chalcogenide glasses, hot embossing, micro-transfer molding, PDMS stamp

Citace

Permanentní identifikátor

Endorsement

Review

Supplemented By

Referenced By