Publikace: Studium vlivu metody depozice na vlastnosti tenkých vrstev chalkogenidových skel systému As-S-Se
Bakalářská práceopen accessNačítá se...
Datum
Autoři
Hnízdo, Petr
Název časopisu
ISSN časopisu
Název svazku
Nakladatel
Univerzita Pardubice
Abstrakt
Tato práce je věnována studiu tenkých vrstev chalkogenidového skla složení As30S50Se20, jejich rozdílům po depozici metodou spin-coating a vakuovým napařením, změně jejich vlastností po tepelné úpravě, nebo exponování UV zářením a následném vlivům na optické vlastnosti, strukturu a rychlost leptání vrstvy.
Popis
Klíčová slova
chalkogenidová skla, tenké vrstvy, spin-coating, vakuové napaření, rezist, chalcogenide glasses, thin films, spin-coating, vakuum evaporation, rezists