Strukturování tenkých vrstev chalkogenidových skel systému As-S pomocí litografických procesů - Jančálek, Jiří (Univerzita Pardubice, 2016)
Tato bakalářská práce se zabývá studiem fyzikálně - chemických vlastností a možností strukturování povrchu tenkých vrstev chalkogenidového skla o složení As35S65 . Studovány byly optické vlastnosti, chemická odolnost, struktura tenkých vrstev a jejich termo- a fotoindukované změny. Ke studiu strukturování povrchu bylo použito optické a elektronové litografie.
Structuring of As-S chalcogenide glass thin films by lithography techniques
Keywords: chalkogenidová skla; tenké vrstvy; optická litografie; elektronová litografie; chalcogenide glasses; thin films; optical lithography; electron beam lithography