Digitální knihovnaUPCE
 

Studium mechanických vlastností vybraných tenkých vrstev

Diplomová práceOmezený přístup
Náhled

Datum publikování

2015

Autoři

Svobodová, Kamila

Vedoucí práce

Oponent

Název časopisu

Název svazku

Vydavatel

Univerzita Pardubice

Abstrakt

Diplomová práce je zaměřena na charakterizaci mechanických vlastností tenkých vrstev, které jsou obecně studovány pro své využití především v oblasti optiky, elektroniky a mikroelektroniky. Z připravených objemových skel o složení As2S3, As2Se3 a As1Se99 byly metodou vakuového napařování připraveny vrstvy o tloušťce 3,2 - 3,9 ?m. Tenké vrstvy byly napařeny na různé substráty a to na mikroskopické podložní sklíčko, monokrystalický křemík a hliníkovou folii. K charakterizaci získaných materiálů v panenském stavu byla použita řada metod. Pomocí rentgenové difrakční analýzy bylo potvrzeno, že jsou připravené objemové vzorky i tenké vrstvy amorfní. Složení skel a vrstev bylo kontrolováno pomocí energiově disperzní analýzy. Struktura připravených objemových skel a vrstev byla popsána pomocí Ramanovy spektroskopie. U připravených chalkogenidových skel byla určena teplota skelné transformace, která souvisí s rigiditou systému. Dále byla studována změna vlastností objemových skel a vrstev z pohledu hustoty, nanoindentační tvrdosti a mikrotvrdost podle Vickerse. Spektrální závislost optické propustnosti tenkých vrstev byla měřena v oblasti vlnových délek 330 1100 nm a byly vypočteny hodnoty indexu lomu, tloušťka vrstev a optická šířka zakázaného pásu. Adheze tenkých vrstev k použitým substrátům a koheze vrstev byla studována pomocí vrypové techniky. Zjištěná experimentální data byla diskutována vzhledem k publikovaným výsledkům ze systémů As-S a As-Se. Bylo prokázáno, že námi zvolené experimentální techniky jsou schopné postihnout subtilní změny mezi objemovým sklem a tenkou vrstvou v řádu jednotek procent a tím např. prokázat dosud pouze empirické vztahy mezi hustotou objemových skel a tenkých vrstev.

Rozsah stran

96 s.

ISSN

Trvalý odkaz na tento záznam

Projekt

Zdrojový dokument

Vydavatelská verze

Přístup k e-verzi

Práce není přístupná

Název akce

ISBN

Studijní obor

Organické povlaky a nátěrové hmoty

Studijní program

Chemie a technologie materiálů

Signatura tištěné verze

D33421

Umístění tištěné verze

Univerzitní knihovna (studovna)

Přístup k tištěné verzi

Klíčová slova

chalcogenide glasses, thin layers, structure, mechanical properties, optical properties, chalkogenidová skla, tenké vrstvy, struktura, mechanické vlastnosti, optické vlastnosti

Endorsement

Review

item.page.supplemented

item.page.referenced