Studium mechanických vlastností vybraných tenkých vrstev
Diplomová práceOmezený přístupDatum publikování
2015
Autoři
Svobodová, Kamila
Vedoucí práce
Oponent
Název časopisu
Název svazku
Vydavatel
Univerzita Pardubice
Abstrakt
Diplomová práce je zaměřena na charakterizaci mechanických vlastností tenkých vrstev, které jsou obecně studovány pro své využití především v oblasti optiky, elektroniky a mikroelektroniky. Z připravených objemových skel o složení As2S3, As2Se3 a As1Se99 byly metodou vakuového napařování připraveny vrstvy o tloušťce 3,2 - 3,9 ?m. Tenké vrstvy byly napařeny na různé substráty a to na mikroskopické podložní sklíčko, monokrystalický křemík a hliníkovou folii.
K charakterizaci získaných materiálů v panenském stavu byla použita řada metod. Pomocí rentgenové difrakční analýzy bylo potvrzeno, že jsou připravené objemové vzorky i tenké vrstvy amorfní. Složení skel a vrstev bylo kontrolováno pomocí energiově disperzní analýzy. Struktura připravených objemových skel a vrstev byla popsána pomocí Ramanovy spektroskopie. U připravených chalkogenidových skel byla určena teplota skelné transformace, která souvisí s rigiditou systému. Dále byla studována změna vlastností objemových skel a vrstev z pohledu hustoty, nanoindentační tvrdosti a mikrotvrdost podle Vickerse. Spektrální závislost optické propustnosti tenkých vrstev byla měřena v oblasti vlnových délek 330 1100 nm a byly vypočteny hodnoty indexu lomu, tloušťka vrstev a optická šířka zakázaného pásu. Adheze tenkých vrstev k použitým substrátům a koheze vrstev byla studována pomocí vrypové techniky. Zjištěná experimentální data byla diskutována vzhledem k publikovaným výsledkům ze systémů As-S a As-Se.
Bylo prokázáno, že námi zvolené experimentální techniky jsou schopné postihnout subtilní změny mezi objemovým sklem a tenkou vrstvou v řádu jednotek procent a tím např. prokázat dosud pouze empirické vztahy mezi hustotou objemových skel a tenkých vrstev.
Rozsah stran
96 s.
ISSN
Trvalý odkaz na tento záznam
Projekt
Zdrojový dokument
Vydavatelská verze
Přístup k e-verzi
Práce není přístupná
Název akce
ISBN
Studijní obor
Organické povlaky a nátěrové hmoty
Studijní program
Chemie a technologie materiálů
Signatura tištěné verze
D33421
Umístění tištěné verze
Univerzitní knihovna (studovna)
Přístup k tištěné verzi
Klíčová slova
chalcogenide glasses, thin layers, structure, mechanical properties, optical properties, chalkogenidová skla, tenké vrstvy, struktura, mechanické vlastnosti, optické vlastnosti