Sub-micrometer soft lithography of a bulk chalcogenide glass
ČlánekOmezený přístuppeer-reviewedpostprintDatum publikování
2013
Autoři
Kohoutek Tomáš
Orava Jiří
Greer A. Lindsay
Fudouzi Hiroshi
Vedoucí práce
Oponent
Název časopisu
Název svazku
Vydavatel
Optical Society of America
Abstrakt
We demonstrate, for the first time, time-and cost-effective replication of sub-micrometer features from a soft PDMS mold onto a bulk chalcogenide glass over a large surface area. A periodic array of submicrometer lines (diffraction grating) with period 625 nm, amplitude 45 nm and surface roughness 3 nm was imprinted onto the surface of the chalcogenide AsSe2 bulk glass at temperature 225 degrees C, i.e. 5 degrees C below the softening point of the glass. Sub-micrometer soft lithography into chalcogenide bulk glasses shows good reliability, reproducibility and promise for feasible fabrication of various dispersive optical elements, antireflection surfaces, 2D photonic structures and nano-structured surfaces for enhanced photonic properties and chemical sensing. (C) 2013 Optical Society of America
Rozsah stran
p. 9584-9591
ISSN
1094-4087
Trvalý odkaz na tento záznam
Projekt
EE2.3.20.0254/Výzkumný tým pro pokročilé nekrystalické materiály (ReAdMat)
Zdrojový dokument
Optics Express, volume 21, issue: 8
Vydavatelská verze
Přístup k e-verzi
Pouze v rámci univerzity
Název akce
ISBN
Studijní obor
Studijní program
Signatura tištěné verze
Umístění tištěné verze
Přístup k tištěné verzi
Klíčová slova
nanoimprint lithography, imprint lithography, wave-guides, fibers, nanostructures, fabrication, micro, nanoimprint litografie, příprava optických prvků