Digitální knihovnaUPCE
 

Sub-micrometer soft lithography of a bulk chalcogenide glass

ČlánekOmezený přístuppeer-reviewedpostprint
Náhled

Datum publikování

2013

Autoři

Kohoutek Tomáš
Orava Jiří
Greer A. Lindsay
Fudouzi Hiroshi

Vedoucí práce

Oponent

Název časopisu

Název svazku

Vydavatel

Optical Society of America

Abstrakt

We demonstrate, for the first time, time-and cost-effective replication of sub-micrometer features from a soft PDMS mold onto a bulk chalcogenide glass over a large surface area. A periodic array of submicrometer lines (diffraction grating) with period 625 nm, amplitude 45 nm and surface roughness 3 nm was imprinted onto the surface of the chalcogenide AsSe2 bulk glass at temperature 225 degrees C, i.e. 5 degrees C below the softening point of the glass. Sub-micrometer soft lithography into chalcogenide bulk glasses shows good reliability, reproducibility and promise for feasible fabrication of various dispersive optical elements, antireflection surfaces, 2D photonic structures and nano-structured surfaces for enhanced photonic properties and chemical sensing. (C) 2013 Optical Society of America

Rozsah stran

p. 9584-9591

ISSN

1094-4087

Trvalý odkaz na tento záznam

Projekt

EE2.3.20.0254/Výzkumný tým pro pokročilé nekrystalické materiály (ReAdMat)

Zdrojový dokument

Optics Express, volume 21, issue: 8

Vydavatelská verze

Přístup k e-verzi

Pouze v rámci univerzity

Název akce

ISBN

Studijní obor

Studijní program

Signatura tištěné verze

Umístění tištěné verze

Přístup k tištěné verzi

Klíčová slova

nanoimprint lithography, imprint lithography, wave-guides, fibers, nanostructures, fabrication, micro, nanoimprint litografie, příprava optických prvků

Endorsement

Review

item.page.supplemented

item.page.referenced