Selektivní leptání As-S vrstev
Bakalářská práceOmezený přístupDatum publikování
2016
Autoři
Kubját, Richard
Vedoucí práce
Oponent
Název časopisu
Název svazku
Vydavatel
Univerzita Pardubice
Abstrakt
Tato bakalářská práce se zabývá přípravou chalkogenidových tenkých vrstev systému As-S a následným studiem jejich selektivního leptání v různých leptacích lázních. Vakuovým napařováním byly připraveny tenké vrstvy o složení As40S60, As35S65 a As30S70. Byl studován vliv expozice a temperace na rychlost rozpuštění těchto vrstev v aminových bázích a vliv koncentrace a složení leptací lázně na selektivitu leptání.
Rozsah stran
46 s.
ISSN
Trvalý odkaz na tento záznam
Projekt
Zdrojový dokument
Vydavatelská verze
Přístup k e-verzi
Práce není přístupná
Název akce
ISBN
Studijní obor
Chemie a technická chemie
Studijní program
Chemie a technická chemie
Signatura tištěné verze
D35564
Umístění tištěné verze
Univerzitní knihovna (studovna)
Přístup k tištěné verzi
Klíčová slova
chalkogenidová skla, systém As-S, tenké vrstvy, selektivní leptání, chalcogenide glasses, system As-S, thin films, selective wet-etching